판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293587249

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 고급 반도체 제조를 위해 설계된 멀티 스테이션 플랫폼 스퍼터링 원자로입니다. 그것은 AMAT 원자로 계열의 일부이며, 주로 고급 반도체 장치를위한 박막 증착에 사용된다. AMAT P-5000은 다양한 필름 증착 공정을 갖는 단일 챔버 시스템입니다. 스퍼터 증착, 증발 및 전자 빔 증발이 가능합니다. 선택적으로, APPLIED MATERIALS P 5000은 화학 증기 증착 및 이온 임플란테이션을 포함한 추가 서비스에 사용될 수 있습니다. 실리콘, 게르마늄 및 갈륨 비소를 포함한 광범위한 기질은 AMAT P 5000을 사용하여 처리 할 수 있습니다. 55cm 중앙 회전 포탑이 특징이며 최대 4 개의 스퍼터링 음극과 2 개의 증발 소스가 장착되어 있습니다. P5000에는 하중 잠금 챔버 및 기판 처리 장비가 장착되어 있어 웨이퍼 카트 (Wafer Carts) 또는 카세트로드 핸들러 포드 (Handler Pods) 의 기판을 프로세스 챔버로 안전하고 효율적으로 전송합니다. AMAT P5000의 원통형 디자인은 웨이퍼 서피스 전체에 필름 두께를 균일 하게 분배합니다. 공정 레시피는 멀티 레이어 증착을 위해 설계되었으며, 0.1 마이크로 미터 미만의 두께로 레이어를 달성 할 수 있습니다. P 5000은 평면 균일 (+/-2nm), 총 두께 균일 (+/-1.5nm) 및 선 너비 균일 (+/-1nm) 의 필름을 생성 할 수 있습니다. 선택적으로 APPLIED MATERIALS P-5000은 AMS (Active Magnetron Sputter Deposition) 또는 OPT (Optical Post Treatment) 와 같은 고급 프로세스 제어 방법과 함께 사용할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS P5000에는 오늘날 가장 높은 운영자 안전 표준을 충족하는 강력한 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있습니다. 종합적인 안전 시스템은 현재의 ANSI/SEMI 표준 NFPA 79 (표준 NFPA 79) 에 따라 설계되었으며, 모든 안전 부품은 높은 신뢰성을 위해 설계되었으며 긴급 상황에 대한 다양한 수준의 수동 및 자동 재정의가 있습니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 멀티 스테이션 플랫폼 스퍼터링 원자로는 박막 생산을위한 매우 고급적이고 신뢰할 수있는 증착 시스템입니다. 광범위한 증착 과정을 다재다능하게 다루고 있으며, 공정 레시피를 통해 0.1 마이크로미터 이상의 두께로 필름을 증착 할 수 있습니다. 또한, 강력한 안전 기능으로 인해 오늘날 가장 안정적이고 안전한 증착 시스템 중 하나입니다.