판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293586392

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 실리콘 기반 장치, 금속 및 반도체와 같은 고급 재료 제조에 사용되는 고온 열 처리 도구입니다. 이 도구는 반도체 제조 공정 (semiconductor fabrication process) 의 필수 부분으로, 매우 작은 기능의 집적 회로 (integrated circuit) 를 생산할 수 있습니다. AMAT P-5000 원자로는 플라즈마 원자로 (plasma reactor) 에 수직 차가운 벽을 사용하여 웨이퍼에 고량의 포스핀 가스를 공급하며, 최대 850 ° C의 온도를 유지할 수 있습니다. 공구의 고온은 확산, 산화, 질화 (nitridation), 광범위한 재료 (예: 유전체, 금속) 의 증착 등의 고급 프로세스에 사용될 수 있습니다. 또한, 이 도구를 스퍼터 증착에 사용할 수 있으며, 고품질 필름과 재료를 생산합니다. APPLIED MATERIALS P 5000에는 전용의 CoolPlasma (TM) 소스가 장착되어 있어 증착 과정을 개선하고, 필름 증가율과 균질성을 향상시키며, 웨이퍼 당 처리량과 레이어를 증가시킵니다. 또한, 원자로는 독립 가스 박스 (gas box) 를 갖추고 있으며, 주요 가공실을 보호하면서 다른 성분의 유연한 공동 증착을 가능하게한다. 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 은 공구에 통합되어 정밀한 처리 온도, 더 큰 균일성, 중요한 프로세스에 대한 향상된 온도 제어 기능을 제공합니다. 수년에 걸쳐 광범위한 고급 공정 기술이 개발되어 플라즈마 강화 된 화학 증기 증착 (plasma enhanced chemical vapor deposition), 원자층 증착 (atomic layer deposition) 및 금속 화학 증기 증착 (metalorganic chemical vapor deposition) 을 포함한 다양한 응용 분야에서 공구를 사용할 수 있습니다. P 5000 원자로 (P 5000 Reactor) 에는 첨단 소재 (Advanced Materials) 의 적용 및 생산을위한 가장 발전된 열 처리 도구 중 하나인 다양한 고급 기능과 기술이 있습니다. 고급 플라즈마 소스 (Plasma Source), 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 및 유연성 (Flexibility) 을 통해 사용자는 다양한 구성 요소를 제조할 수 있는 정확하고 안정적인 도구를 제공합니다.