판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #177998

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 177998
웨이퍼 크기: 8"
CVD system, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 원자로는 혈장 강화 화학 증착 (PECVD) 을 위해 설계된 초고 진공 증착 (UHVD) 장비입니다. 이것 은 오늘날 의 고급 "반도체 '제조 에 사용 되는 도구 로서, 소비자 제품 에 사용 되는" 반도체', "디스플레이 '및 기타 장치 의 생산 을 위해 박막 을 증착 할 수 있다. 이 시스템은 다양한 응용 프로그램에 유전체 및 금속 필름을 배치하는 데 탁월한 성능을 제공합니다. AMAT P-5000 원자로는 빠르고 효율적인 UHVD (UHVD) 공정 기능을 위해 설계되었으며, 불순물 또는 충돌 없이 정확한 구성 제어로 필름을 배치 할 수 있습니다. 오늘날 복잡한 전자 장치 생산의 핵심 기능인 뛰어난 균일성 (unifority), 스텝 커버리지 (step coverage) 및 두께 제어 (thickness control) 를 갖추고 있습니다. 이 장치는 중요한 프로세스 매개변수를 최적의 수준으로 유지하기 위한 고급 내부 최적화 (internal optimization) 프로세스를 제공합니다. 전력을 균일하게 분배할 수 있도록 효율적인 정전기 (capacitance-coupled power unit) 를 활용해 높은 증착률을 촉진합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 원자로는 최대 1 와트의 RF 전력을 제공 할 수있는 여러 필드 유형 유도 결합 플라즈마 소스를 특징으로합니다. 또한 섭씨 -150도에서 600도 사이의 정확한 온도 조절을 제공합니다. 이 기계에는 프로세스 온도를 정확하게 측정하는 내장 진단 온도 컨트롤러 (diagnostic temperature controller) 가 포함되어 있습니다. 사용자는 환경을 수동으로 조정하여 각 필름 증착을 조정할 수도 있습니다. P 5000 원자로는 자동 압력 조절기, 비활성 가스 담요 등 고급 안전 기능을 제공합니다. 원격 경고 (Remote Alarm) 및 자동 종료 (Automatic Shut Down) 기능으로 설계되어 공구의 안전한 작동을 보장합니다. P-5000 원자로는 유전체, 금속 및 질화물, 산화물 및 중합체를 증착 할 수 있기 때문에 뛰어난 다재다능성을 제공합니다. 포토레스 (photoresist) 의 증착과 반도체 소자의 제조에 적합하다. 이 자산은 전선 및 접촉 공정에서 필수적인 백금 (platinum metal) 을 증착하는 데에도 적합합니다. 전반적으로, P5000 원자로는 탁월한 프로세스 제어 및 성능을 제공하는, 고급적이고 안정적인 모델입니다. 탁월한 기능과 기능으로 인해 오늘날의 복잡한 어플리케이션에 이상적인 툴이 됩니다.
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