판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #159341
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 박막 증착 프로세스에 사용되는 증착 원자로 유형입니다. "아르곤 '과" 질소' 와 같은 여러 종류의 "가스 '를 이용해 기판에 퇴적되는 박막 층을 만든다. 장비는 가변 온도 챔버 (variable temperature chamber) 를 가지므로 기판을 최대 750 ° C의 온도까지 가열 할 수 있습니다. 또한, 박막 증착 과정을 측정하기위한 쿼츠 크리스탈 모니터가 포함되어 있습니다. AMAT P-5000 (AMAT P-5000) 은 다양한 유형의 재료에서 산화물, 질화물, 금속과 같은 박막 층을 생성하는 데 사용될 수 있으므로 다양한 응용 분야에서 유용합니다. 이 필름은 서브 미크론에서 수백 나노미터 두께의 박막 (thin film) 을 만드는 데 사용될 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000 (응용 재료 P 5000) 은 또한 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있으므로 사용자가 균일성과 품질이 높은 영화를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 최대 4 개의 소스를 수용 할 수 있으며, 각 소스는 다양한 유형의 가스를 제공 할 수 있습니다. 통일성을 보장하기 위해 APPLIED MATERIALS P5000은 각 소스에 대해 컴퓨터 핀포인트 제어 (pin-point control) 를 사용하여 각 소스에서 흐르는 가스를 조정하고 필름 증착 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. "소오스 '는 저항 장치 를 사용 하여 가열 할 수 있으며, 따라서" 소오스' 의 온도 를 미세 하게 조정 할 수 있다. 이 장치는 또한 다양한 안전 기능 (예: 누출 또는 열 폭주를 감지 할 수있는 자동 샘플링 머신) 을 제공합니다. 또한 이중 전기 자기 인터 록 (electro-magnetic interlock) 을 제공하며, 전원 장애 또는 비상 정지시 보호 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 프로세스의 안전한 운영을 보장하기 위해 설계된 다양한 경고 (alarm) 및 종료 (shut down) 시스템이 있습니다. 전반적으로 AMAT P 5000은 다양한 기판에서 박막을 생산하기위한 이상적인 증착 원자로입니다. 안전 측정 (Safety Measures) 부터 정확한 온도 조절 (Temperature Control) 에 이르기까지 다양한 기능을 제공하여 다양한 상업 및 산업 응용을위한 귀중한 도구입니다.
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