판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #152721

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 생산성이 높은 반도체 장치 제조를 위해 설계된 완전 자동화 된 원자로 장비입니다. 집적회로 생산에 필요한 모든 재료를 증착, 에칭, 청소할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 프로세스 제어, 고급 기판 처리 및 모니터링 기능을 결합합니다. AMAT P-5000은 증착 소스, 로드 락, 중앙 프로세스 챔버 및 유지 보수 챔버로 구성된 모듈 식 아키텍처를 사용합니다. 증착 원에는 화학원, 터보 분자 펌프 및 승화 히터가 포함되어 있으며, 중앙 공정 챔버 (central process chamber) 에는 진공 펌프, 가스 분포 시스템 및 증착 및 에칭 공정에 필요한 다른 구성 요소가 있습니다. 화학적 기계적 평면을 만들기 위해 APPLIED MATERIALS P 5000에는 화학 전달 장치 및 회전 패드 세트가있는 CMP 스테이션이 포함됩니다. 적재물에는 외부 환경에서 기판을 전송하기위한 2 개의 문이 있으며, 입자 도입을 최소화하도록 설계되었습니다. 이 기계는 직경 4 ~ 12 인치 사이의 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 도구에는 반도체 장치를 제작하는 강력한 프로세스 기능이 포함되어 있습니다. 실리콘, 티타늄 및 텅스텐의 유전체 증착은 고속 이온 보조 증착 기술로 지원됩니다. 금속 및 유전체의 에칭은 마그네트론 스퍼터 에칭, 유도 결합 플라즈마 에칭 및 물리적 스퍼터링에 의해 활성화됩니다. APPLIED MATERIALS P-5000은 확산, 어닐링 및 솔더링과 같은 열 프로세스도 지원합니다. 이 자산은 높은 생산성과 반복성 (repeatability) 에 중점을 두고 개발되었으며, 대규모 생산 작업에 이상적입니다. 정교한 프로세스 제어 알고리즘, 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스, 자동화된 문제 해결, 추적 기능 등을 통합하여 이러한 목표를 달성합니다. 또한, P 5000 은 기존의 많은 공장 자동화 시스템과 쉽게 통합될 수 있으므로 대량 생산 환경에서 실행 가능한 솔루션이 됩니다. APPLIED MATERIALS P5000 의 광범위한 프로세스 기능, 사용 편이성, 처리량, 기존 운영 설비 (Production Facility) 에 통합되는 기능을 통해 디바이스 제작에 유용한 툴이 될 수 있습니다. 고품질 반도체 장치의 빠르고 효율적인 생산을 제공합니다.