판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9218922

AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP는 다양한 반도체, 디스플레이, 연료 전지 및 MEMS 응용 프로그램에서 고급 플라즈마 처리를 제공하도록 설계된 최첨단 플라즈마 원자로입니다. 이 원자로는 생산 환경과 연구 환경 모두에서 최대의 유연성과 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT P5000 MxP는 수소, 질소, 산소를 포함한 다양한 공정 기체에서 생성 된 플라즈마를 전달 할 수 있습니다. 또한 최대 온도 범위는 750 - 1000 ° C이며, 펄싱 및 쿼드 존 (quad-zone) 작동을 포함한 온도 조절 옵션이 있습니다. 또한, 원자로는 진단 및 샘플 처리 구성 요소 (sample-handling component) 배열로 복장을 할 수 있으며, 실시간 플라즈마 측정에 사용할 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 는 독점적 인 하드웨어 및 소프트웨어 시스템을 갖추고 있어 신뢰성이 높고 반복 가능한 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 여기에는 정밀 증착 및 에치 처리, 빠른 열 처리, 빠른 프로토 타입, 정밀 마스크 정렬 및 조정이 포함됩니다. 제어 아키텍처는 현장 센서 피드백 제어, 초고속 가스 혼합 및 실시간 스펙트럼 분석을 특징으로합니다. APPLIED MATERIALS P5000 MxP는 자동 챔버 클리닝, 웨이퍼 로드/언로드, 다중 레시피 실행 등 다양한 자동 프로세스 기능을 제공합니다. 또한 이 원자로는 프로세스 모니터링 및 결과 보고를 위한 확장된 데이터 수집 기능을 제공합니다. 게다가, 이 도구는 높은 반복성을 제공하도록 설계되었으며, 부품 및 부품에 대한 유지 관리가 낮아 서비스 편의성과 다운타임이 줄어듭니다. 요약하면, P5000 MxP는 최신 플라즈마 처리 요구를 위해 설계된 강력하고 다재다능한 원자로입니다. 자동화된 프로세스 기능과 강력한 하드웨어/소프트웨어 시스템 (하드웨어/소프트웨어 시스템) 을 제공합니다. 따라서 사용자는 다운타임을 최소화하면서 반복 가능하고 안정적인 프로세스를 구현할 수 있습니다.