판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9200089

ID: 9200089
Poly etcher (3) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP 원자로는 반도체 장치 제조를위한 최첨단 도구입니다. 자동화된 프로세스와 모듈식 (modular) 설계를 통해 운영 환경에 뛰어난 유연성과 사용 편이성을 제공합니다. AMAT P5000 MxP (Fully Integrated Equipment) 는 최대 수율과 최대 비용 절감을 위해 사용자의 특정 요구에 맞게 조정할 수 있는 완전 통합형 장비를 제공합니다. APPLIED MATERIALS P5000 MxP 원자로는 다양한 유형의 처리 및 제작 작업을 지원하도록 설계된 통합 플랫폼입니다. 리소그래피, 에칭, 이온 임플란테이션 및 증착에 이르기까지 모든 것을 처리 할 수 있습니다. "폴리머 '와" 폴리실리콘' 과 같은 유기 물질 을 포함 하여 "실리콘 '과 기타 기판 을 처리 할 수 있다. 이 시스템은 다양한 도구와 호환되며, 습식 (wet) 벤치 및 기타 장치 구성 프로세스와의 통합이 가능합니다. P5000 MxP는 생산 속도를 높이고 프로세스 처리량을 향상시키는 멀티 챔버 설계를 사용합니다. 낮은 오염 환경, 저기압, 가장 깨끗한 프로세스 환경을 제공하는 탁월한 열 제어 (thermal control) 를 자랑합니다. 이 장치는 또한 정밀도가 높은 프로세스 제어 및 모니터링 (monitoring) 기능을 제공하여 실시간으로 프로세스 변수를 모니터링하고 매개변수를 신속하게 조정할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP 원자로를 사용하여 프로세스 매개변수, 레시피 및 온도를 사용자 정의하여 수율 및 성능을 극대화 할 수 있습니다. AMAT P5000 MxP 원자로는 대용량 생산 어플리케이션에 매우 유리한 다양한 기능을 제공합니다. 레시피 관리, 웨이퍼 추적, 배기 관리, 프로세스 추적 기능을 지원하는 통합 컴퓨터 제어 프로세스 제어 머신 (computer-controlled process control machine) 이 제공됩니다. 추가 기능으로는 통합 로드 잠금 장치, 광 플라즈마 모니터, 이온 이온 이식 소스 등이 있습니다. 또한 자동 프로그램 경보 (programmatic alarm) 및 프로세스 레시피 (recipe) 기능을 통해 오류 없이 신속하게 작업을 수행할 수 있습니다. 요약하자면, APPLIED MATERIALS P5000 MxP 원자로는 최첨단 사용자의 효율성과 유연성을 극대화하는 정교한 첨단 기술입니다. 통합된 모듈식 설계를 통해 사용자는 각 프로세스를 조정하고 최적화할 수 있으며, 자동화 (Automation) 와 낮은 오염 환경 (Low Contamination Environment) 은 최고 수준의 수익률과 비용 절감 효과를 제공합니다. 전산화된 강력한 프로세스 제어 자산 (Computerized Process Control Asset) 과 다양한 기능을 통해 반도체 장치 생산 및 기타 대용량 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.
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