판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #9177952
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판매
ID: 9177952
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1993
System, 8"
Chamber type Process
Ch-A: Mxp Metal etch
Ch-B: MxP Metal etch
Ch-C: ASP P/R Strip
Process kit Manometer
Ch-A: Metal STD 1 Torr/MKS
Ch-B: Metal STD 1 Torr/MKS
Ch-C: Qtz 10 Torr/MKS
Clean method Throttle valve
Ch-A: RF Clean Yes
Ch-B: RF Clean Yes
Ch-C: - Yes
Turbo pump Magnet driver
Ch-A: Yes Yes
Ch-B: Yes Yes
Gas box MFC Gas name
Ch-A: Yes -
Ch-B: Yes -
Ch-C: Yes -
VME Type:
HDD: Yes
Controller slot: (21) Slots
SBC Board type: SV21 Synagy
Boss rom ver: Boss 4.8
Video board type: VGA Video
FDD: 3.5"
Robot type: Phase III
Cassette handler: Phase III (top clamp)
Sto elevator type: (8) Slots
I/O Wafer sensor: Yes
WPS Sensor: Yes
L/Lock slow vent: Yes
Slit valve type: Standard
L/Lock purge: Yes
RF Gen I/II type RF Match
Ch-A: OEM 12A Phase VI
Ch-B: OEM 12A Phase VI
Ch-C: AX2115 Manual match
EPD: E2.8
Exhaust line: Top, standard
EPD Method: Monocrometer
Gas panel: (12) Gas lines
Monitor: TTW
Mini controller: No
H/E: AMAT 0
Chiller: NESLAB
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP + 는 고품질, 최첨단 반도체 제품의 생산을 위해 고급 고성능 박막 증착을 제공하도록 설계된 원자로입니다. 이 도구는 고진공 및 현장 온도 감지 기능을 사용하여 증착과 처리를 달성합니다. AMAT P5000 MxP + 는 CVD, MOCVD 및 ALD와 같은 다양한 증착 기술에 사용될 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000 MxP + 는 고정밀 선형 베어링 (Linear Bearing) 을 사용하여 밀봉되는 진공실과 고성능 간접 펌핑 장비로 설계되었습니다. 이 디자인은 최대 챔버 압력 1.33 x 10-4 Torr의 견고하고 안정적인 진공 품질을 보장합니다. 원자로의 온도 작동 범위는 최대 1000 ° C입니다. 이를 통해 고품질 및 고성능 아키텍처의 증설이 가능합니다. 이 시스템은 또한 증착 프로세스에 대한 안정적인 실시간 모니터링을 제공하는 고급 현장 (in-situ) 진단 장치를 갖추고 있습니다. 이 강력한 머신을 사용하면 연속성과 균일성을 모두 자동화할 수 있습니다. 이는 고객의 입금 처리 (deposition process) 를 최적화하려는 고객에게 큰 장점입니다. P5000 MxP + 는 또한 위험한 조건이 발생하지 않도록 통합된 안전 기능으로 설계되었습니다. 여기에는 레이저 연동, 프로세스 연동 및 RF 차폐가 포함됩니다. 또한 연동 도구 (Interlock Tool) 는 프로세스를 모니터링하여 챔버 매개변수가 세트 점 값 이하로 유지되도록 합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP + 는 프로세스 로직 및 자산 구성을 사용자 정의할 수 있는 맞춤형 통합 자동화 소프트웨어를 제공합니다. 이 소프트웨어는 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있으며, 외부 프로그래밍 기술 없이 원자로 (reactor) 를 제어할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT P5000 MxP + 는 최첨단 반도체 제품 개발에 이상적인 고급적이고 견고한 원자로 모델입니다. 고진공 (high-vacuum) 기능, 통합 온도 감지 (integrated tempersing), 내부 진단 장비 (in-situ diagnostic equipment) 및 다양한 안전 측정 기능을 갖춘 이 시스템은 고객이 원하는 제품의 우수한 품질을 제공합니다.
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