판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #9116735

ID: 9116735
Oxide etcher (3) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP + 는 다양한 프로세스 응용 프로그램에서 뛰어난 성능을 제공하도록 설계된 최첨단 세라믹 코일 형 원자로입니다. AMAT P5000 MxP + 의 반응 챔버는 2 피스, 세라믹 코팅 된 금속 벨 항아리로 형성됩니다. 외부 종항아리는 최대 1000 ° C의 온도를 견딜 수있는 반면, 내부 종항아리는 최대 1200 ° C의 온도까지 작동 할 수 있습니다. 내부 벨 항아리는 테플론 (Teflon) 뚜껑을 특징으로하며, 입자 오염을 최소화하고 내부 챔버 안팎으로 쉽게 샘플 전송을 허용하도록 설계되었습니다. 스테인레스 스틸 코일 (stainless steel coil) 은 원자로 본체 역할을하며, 천공 된 플라즈마 가드는 최대 플라즈마 감금 및 반응 챔버의 균일 한 가열을 제공하도록 설계되었습니다. 반응 챔버 내에서 APPLIED MATERIALS P5000 MxP + 는 저압 화학 증발 (LPCVD) 및 플라즈마 향상을 포함한 다양한 고효율 공정의 조합을 사용합니다. 이를 통해 고온에서 재료의 성장, 특성 및 처리를 고도로 제어 할 수 있습니다. 원자로 는 또한 "가스 '흐름 을 관리 하기 위한 자동화 된 장비 를 갖추고 있으며, 이 과정 에 사용 되는 화학 물질 과 다른 증기 들 이 안전 하게 함유 되어 있고, 분해 되어 있는지 확인 한다. P5000 MxP + 는 고급 화학 증기 증착 프로세스 외에도 특수 열 처리 기능도 제공합니다. 반응실 의 온도 는 "오퍼레이터 '에 의하여, 혹은 원자로 의" 디지털' 조절 장치 를 통하여 자동적 으로 조정 될 수 있다. 최대 1200 ° C의 온도에서 AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP + 는 광범위한 재료 및 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 이러한 프로세스에는 현지화 된 어닐링, 금속 증착 및 에칭 프로세스가 포함됩니다. AMAT P5000 MxP + 의 최종 기능은 다중 축 동작 장치입니다. 이 모션 머신 (motion machine) 은 샘플 프로세싱의 정확성을 향상시키고 챔버 내의 열 그라디언트를 줄이기 위해 설계되었습니다. 동작 도구는 3 개의 축을 따라 회전, 기울기, 스윙 기능으로 3 개의 자유도를 사용합니다. 이를 통해 샘플을 배치하고, 가능한 한 자세하게 조작할 수 있습니다. 요약하자면, APPLIED MATERIALS P5000 MxP + 는 최첨단 세라믹 코일 형 원자로로, 고온에서 재료의 성장, 특성 및 처리에 대한 다양한 고효율 프로세스를 제공합니다. 원자로에는 저압 화학 증기 증착 (low-pressure chemical vapor deposition) 및 플라즈마 향상 (plasma enhancement), 고급 열 처리 기술 및 자동 가스 흐름 관리 자산과 같은 특수 기능이 포함됩니다. P5000 MxP + 는 또한 다중 축 동작 모델을 사용하여 샘플 배치 및 조작을 개선합니다.
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