판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9102226

ID: 9102226
웨이퍼 크기: 6"
Metal etcher, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP Reactor는 ALD (Atomic Layer Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition) 및 RTP (Rapid Thermal Processing) 를 포함한 다양한 박막 증착 프로세스를 처리하도록 설계된 차세대 고성능 생산 장비 장비입니다. 이 원자로는 P5000 시리즈의 향상된 버전으로, 보다 안정적인 결과를 얻기 위해 고효율, 품질 반응을 제공합니다. AMAT P5000 MxP Reactor는 고속, 고해상도 유압 시스템을 갖추고 있으며, 최소한의 드리프트로 여러 구성 요소를 정확하고 제어할 수 있습니다. 이 장치는 최대 500mbar (최대 온도 1100 ° C) 의 압력에서 작동 할 수 있으며, 반응 조건을 정확하게 제어합니다. 통합 균일 기계는 전체 원자로에서 일관된 프로세스를 유지하는 데 도움이됩니다. 표적 챔버 (Target Chamber) 는 반응에 필요한 부피와 가스 흐름을 직접 조정 할 수있는 표적 챔버 (Target Chamber) 를 특징으로합니다. 원자로 (Reactor) 에는 임베디드 소스 모니터링 툴 (Embedded Source Monitoring Tool) 이 포함되어 있어 원자로 작동 중에 각 소스의 상태를 모니터링할 수 있습니다. 다양한 소프트웨어 기반 기능 (예: 실시간 온도 조절) 을 통해 사용자는 프로세스 조건을 최적화하여 반응 결과를 향상시킬 수 있습니다. 가동 중 안전성 향상을 위해, 이 장치에는 비상 스위치 오프 (emergency switch off) 와 비활성 가스 누출 탐지기 (inert gas leak detector) 가 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000 MxP Reactor는 모듈식 자산으로, 쉽게 설치하고 신속한 도구를 변경할 수 있습니다. 간편한 교체/서비스 가능한 다양한 부품이 제공되어, 유지 보수 작업을 손쉽게 수행하고 가동 시간을 단축할 수 있습니다. 직관적인 대화형 GUI를 사용하면 하나의 통합 인터페이스에서 쉽고 효율적으로 작업을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 P5000 MxP Reactor는 박막 증착 프로세스를 안정적이고 효율적으로 처리 할 수있는 강력한 생산 등급 모델입니다. 생산성 (production-grade) 의 품질과 안정적인 성능을 제공하는 다양한 산업용 어플리케이션에서 사용하기에 적합합니다.
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