판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #293615042

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP + 는 펄스 연속 하중 잠금 (PCL), FLA (Flash Lamp Anneal) 및 3D 스캔 프로세스를 사용하여 고급 전자 장치를 제조하는 다중실 원자로 시스템입니다. 또한 처리 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있으며, 여러 병렬 프로세스 단계를 지원합니다. AMAT P5000 MxP + 에는 42cm x 24cm PCL이 있으며, 이는 고온 및 울트라 클린 공정 모두에 대한 빠른 기판 로드 및 언로드가 가능합니다. 공정 제어를 위해 내장형 로드 포트 (load port) 와 온보드 마이크로 컨트롤러 (micro-controller) 를 사용하여 기판 처리 중 산소 및 수분을 단단히 제어할 수 있습니다. FLA (Flash Lamp Anneal) 는 초단파 (pulse of light) 에너지를 사용하여 기질을 외부로 가열하지 않고도 높은 에너지 어닐링을 제공합니다. 이 과정을 통해 온도와 어닐링 시간 (annealing time), 에너지 스프레드 (energy spread) 와 같은 중요한 프로세스 매개변수의 엄격한 내성을 달성하는 동시에 좋은 자체 정렬 제어를 유지할 수 있습니다. 3D 스캔 프로세스는 기판 표면의 고해상도 2 차원 이미지를 제공합니다. 근적외선 카메라를 사용하여 정확한 3D 서피스 매핑을 통해 결함을 신속하게 파악하고, 컨투어를 분석하고, 피쳐를 측정할 수 있습니다. 이를 통해 보다 효율적인 프로세스 개발 및 기판 특성화가 가능합니다. APPLIED MATERIALS P5000 MxP + 에는 전자 레시피 전송, 퍼니스 제어, 챔버 모니터링, 프로덕션 추적 및 데이터 로깅을 지원하는 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이를 통해 프로세스 자동화 및 중요 프로세스 매개변수의 실시간 제어가 가능합니다. 또한, 디지털 터치 스크린 시스템은 단일 단계 작업으로 프로세스 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이는 빠르고 정확하며 정확한 처리를 보장합니다. P5000 MxP + 는 고급 장치 제작에서 정확한 제어를 제공하기 위해 설계된 고급 멀티 챔버 (Multi-Chamber) 원자로 시스템입니다. Flash Lamp Anneal 기술, 3D 스캔 프로세스 및 사용자 친화적 인 소프트웨어를 사용하면 연구 및 산업 환경에서 모두 사용할 수 있습니다.