판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9401169

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II는 AMAT가 개발 한 고성능 원자로로, 고급 박막 및 기타 마이크로 구조화 물질의 고급 연구, 개발 및 생산을 가능하게합니다. 레이저 에너지 유창 (laser energy fluence) 및 거주 시간 제어 (residence time control) 를 포함하여 증착 과정을 최적화 할 수있는 정밀 제어 기능을 제공합니다. AMAT P5000 Mark II는 첨단 기술과 엔지니어링의 강력한 조합을 제공하여 전례없는 박막 특성을 제공합니다. 원자로에는 박막 두께 측정의 진전을 위해 스캐닝 전자 현미경 (scanning electron microscope) 과 퇴적 물질에서 우성 종의 농도를 측정하기위한 광학 분광계 (optical spectrometer) 가 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II는 초청실 (ultra-clean chamber) 과 효율적인 가스 분포 시스템을 결합하여 표면 조건과 증착율을 잘 제어합니다. 원자로는 또한 고효율 임베디드 컴퓨터 시스템 (Embedded Computer System) 을 갖추고 있으며, 여러 처리 매개변수를 저장하고 증착 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000 Mark II의 크기는 길이 46.5cm, 폭 31.7cm, 높이 22.9cm이며 챔버 부피는 45.3 리터입니다. 공정 압력 범위는 5.33 - 6.65 x 10-5 Torr, 가변 작동 빈도는 4kHz ~ 14GHz입니다. 원자로의 온도 범위는 100 ° C - 950 ° C이며, 최대 온도 안정성은 ± 1 ° C이며, 최적의 공정 온도 균일성은 ± 5 ° C입니다. P 5000 MARK II의 주요 기능은 고정밀 증착 프로세스 제어로, 우수하고 일관된 계층 간 박막 특성을 제공합니다. 높은 증착율과 우수한 균일성 (unifority) 을 통해 증착 시간을 크게 줄이고 생산성을 높일 수 있습니다. 또한 P5000 Mark II는 플라즈마 소스, 박막 모니터, 가스 분석기, 입자 감지 시스템 등 Applies Materials 시스템의 추가 도구와 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. 이를 통해 기판에서 완료된 제품까지 종합적인 프로세스 제어가 가능합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II는 박막 증착 및 특성화를위한 매우 깨끗하고 효율적인 원자로이며, 다양한 재료 처리 응용 프로그램에서 뛰어난 박막 성능 및 우수한 기판 커버리지를 제공합니다.