판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9313061
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 9313061
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1993
Etcher, 8"
Gas panel facilities: Top feed single-line
Gas panel exhaust: Top feed
Robot blade: Metal
Wafer type: Notch
Gas panel type: UHP
EMO's: Momentary
Gas lines: (28) Lines
Robot type: Standard
System umbilicals: 25ft
MF Facilities: Rear
Mainframe: Phase II
Load lock slit valves: Viton
NESLAB Heat exchanger
VME Rack: Standard
Hard Disk Drive (HDD): 4.5 GB
Chamber A:
Chamber process: Oxide
Lid type: MxP+ Clamped
Susceptor / Pedestal: RIE
NESLAB Heater / Cathode cooling
Slit valve O-ring: Chemraz
Chamber O-rings: Chemraz
NESLAB Wall cooling
Single manometer: 1 Torr
Throttle valve: Direct drive
Gas valves: Nupro
Chamber clamps
Chamber B:
Chamber process: Oxide
Single manometer: Manometer 1 Torr
Throttle valve: Direct drive
Susceptor / Pedestal: RIE
NESLAB Wall cooling
NESLAB Heater / Cathode cooling
LEYBOLD Turbo pump
Chamber B gasses:
Gas / MFC Size / Gas name
Gas 1 / 100 Sccm / CHF3
Gas 2 / 200 Sccm / Ar
Gas 3 / 50 Sccm / CF4
Gas 4 / 200 Sccm / O2
Gas 5 / 20 Sccm / O2
Gas 6 / 100 Sccm / N2
Gas valves: Nupro
VME Rack and chamber parts missing
Power supply: 208 Vac. 400 Amp, 50 Hz Transformer
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II 원자로는 nanofabrication, nanocharacterization 및 고급 재료 증착을위한 다용도 및 비용 효율적인 도구입니다. 이 기술적으로 진보 된 원자로는 2 개의 독립적으로 제어 된 고정밀 가열 단계, 비활성 가스로 가득 찬 압력 챔버, 흑연 서셉터로 설계되었습니다. 최대 90mm 의 압력 챔버 (pressure chamber) 를 사용하면 최대 1200 ° C의 고온 처리를 통해 다양한 고급 재료를 처리 할 수 있습니다. 이중 소스 시스템은 각각 최대 4 개의 소스를 수용 할 수있는 고급 재료를 동시에 코팅 할 수 있습니다. 재사용 가능한 감지기 (susceptor) 는 흑연 (graphite) 으로 구성되어 있으며, 우수한 열 전도성을 제공하며 녹는점이 높습니다. 서셉터 (susceptor) 는 표면 특성화 및 샘플 분석과 같은 나노 카터 화 실험을 수행 할 때 각 가열 된 판의 온도를 별도로 제어하는 데 사용됩니다. "서셉터 '는 또한 증착 이 필요 할 때 금속 및 반도체" 필름' 과 같은 물질 을 증발 시키는 데 사용 된다. 각 기질의 온도는 독립적으로 변할 수 있습니다. 비활성 환경을 제공하기 위해 AMAT P5000 Mark II 원자로가 석영 튜브에 제공됩니다. "쿼츠 '관 은 불활성" 가스' 로 가득 차서, 고도 의 물질 을 산화 혹은 주변 공기 와의 반응 으로 인한 다른 분해 로부터 보호 한다. APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II 원자로는 다재다능하고 비용 효율적인 나노 분류 도구입니다. 이중 소스 시스템은 여러 재료를 동시에 처리 할 수 있으며, 독립적으로 제어되는 가열 단계는 정확한 온도 제어 (temperature control) 를 제공합니다. 흑연 "서셉터 '는 열 을 기질 로 효율적 으로 전달 하고, 비활성" 가스' 환경 은 고급 물질 을 산화 혹은 분해 로부터 보호 해 준다. AMAT P 5000 MARK II 원자로는 최대 1200 ° C의 고온 처리를 생성 할 수 있으며, 이는 고급 물질 증착 및 나노 카라 세르 화 실험에 이상적입니다.
아직 리뷰가 없습니다