판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9213668

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II 원자로는 고품질 필름이 필요한 증착 응용에 최적화 된 플라즈마 강화 화학 증기 증착 장비입니다. AMAT P5000 Mark II는 2 개의 챔버를 갖추고 있으며 IDPECVD (Ionized Deposition Process) 와 MPPECVD (Multi Plauna Power Enhanced Chemical Vapor Deposition) 의 두 가지 프로세스 옵션을 제공합니다. IDPECVD (IDPECVD) 는 강착 챔버 내 전구체 가스의 에너지 적 폭격으로 비교적 높은 전력 밀도에서 전자 빔 (electron beam) 에 의해 시작되는 강착 과정이다. MPPECVD는 비 에너지 증착 (non-energetic deposition) 과정으로, 균일성이 큰 낮은 전력 밀도로 필름을 생산하는 데 사용됩니다. 두 프로세스 모두 품질, 접착, 균일성을 갖춘 영화 제작의 핵심입니다. APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II 원자로는 탑로드 로딩 메커니즘으로 설계되어 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위해 증착실에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 최상위 로드 기판 랙을 사용하면 600mm 와퍼를 높은 처리율로 로드할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000 Mark II 원자로는 또한 고성능 피치 캐치 (pitch-catch) 조작기를 사용하여 정확한 현장 반응 제어를 위해 고품질의 현장 도량형 및 가스 전달 시스템을 제공합니다. 이 시스템은 AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II 원자로의 성능을 향상시키기 위해 여러 가지 고급 측정 및 제어 기능도 통합했습니다. 여기에는 독립적 인 주파수 조향 및 매칭이 가능한 4 포인트 RF 장치, 즉석 전원 제어 및 적외선 측정을 통한 필름 두께 피드백 제어가 포함됩니다. 또한, 기계는 서브 미크론 정확도로 필름 두께, 광학 특성 및 전기 특성을 측정 할 수 있습니다. 안전 및 공정 제어를 보장하기 위해 AMAT P 5000 Mark II 원자로에는 과열 보호 도구, 과압 보호 자산, 자동 압력 컨트롤러 등의 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. 자동 압력 컨트롤러 (Automated Pressure Controller) 는 챔버 내의 반응 압력을 정확하게 제어하여 모든 프로세스에서 안전하고 정확한 성능을 보장합니다. P5000 Mark II 원자로는 다양한 산업 응용 분야에 대한 뛰어난 균일 성, 접착, 광학, 전기 및 열 특성을 가진 고품질 필름을 생산하도록 설계된 고급 증착 모델입니다. 이 공정 별 원자로에는 안정적이고 반복 가능한 성능을 위해 주요 안전 (Safety) 기능과 고급 도량형, 측정 및 제어 시스템이 장착되어 있습니다.