판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9210742

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II는 200mm 웨이퍼 제조를 위해 설계된 반도체 처리 원자로입니다. 적외선 히터를 사용하여 어닐링 (annealing), 산화 (oxidation) 및 증착 (deposition) 을 포함한 다양한 공정에서 고온에서 빠른 열 사이클링을 가능하게합니다. 챔버는 2 개의 분할 영역 (split-zone) 과 챔버 (chamber) 로 구성되며 두 영역 모두에서 독립적 인 온도 제어가 가능합니다. 모듈식 설계는 하나의 프로세스에서 다음 프로세스로 연속성을 제공하므로, 통합과 프로세스 최적화를 쉽게 수행할 수 있습니다. Mark II에는 또한 높은 종횡비 에치 챔버 옵션이 있습니다. Mark II는 총 시스템 압력 및 온도 조절 1000-5000 Torr의 챔버 압력 제어를 사용합니다. 공정 화학은 이중 플라즈마 소스, 내부 배기 플라즈마 및 가스 화학 관리를 통해 전달됩니다. 컨트롤러에는 최고 품질의 결과와 재현성을 보장하는 내장형 진단 시스템 (Diagnostics System) 이 포함되어 있습니다. Mark II는 다중 주파수 제어를 위한 RF Generator, 온도 및 압력 안정성을 위한 Auto Tune, 온도 드리프트 보상을위한 지능형 도체, RF 효율성을 향상시키는 Intelligent Electrode 등 다양한 하드웨어 및 소프트웨어의 발전을 통합했습니다. 이를 통해 Mark II는 더 높은 수율, 더 엄격한 공차 및 향상된 열 균일성을 달성 할 수 있습니다. Mark II에 포함된 소프트웨어는 Process Workflow monitoring, Recipe Scheduling, Parameter 최적화 등의 고급 기능도 제공합니다. 마지막으로 Mark II에는 통합 3 축 로봇이 있으므로 웨이퍼를 쉽게 로드하고 언로드할 수 있습니다. AMAT는 Mark II를 200mm 웨이퍼 제작을위한 경제적이고 효율적인 옵션으로 설계했습니다. 고급 기능과 안정적인 성능을 갖춘 AMAT P5000 Mark II는 반도체 프로세싱에 이상적인 선택입니다.