판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9162913
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판매
ID: 9162913
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
CVD system, 8"
P/N: 0010-09276
Input: 208V, 60Hz
(3) Nitride deposition chambers
Included components:
5000 / 5200 CVD Configured chamber P/N: 5834R A
5000 CVD Configured chamber P/N: 4347 A
5000 CVD Configured chamber P/N: 4347 B
5000 CVD 200mm Lamp module P/N: 0010-09337 Rev. A
(2) 5000 CVD Delta TEOS gas boxes P/N: 0227-01057 Rev. B
5000 Cleanroom loadloack chamber P/N: 0010-70067 Rev. W
5000 Cleanroom 8" Robot P/N: 0010-76015 Rev. P
5000 Cleanroom storage elevator P/N: 0010-76001 Rev. F
(3) 5000 Cleanroom slit valves P/N: 0010-70321
5000 Platform cassette handler bottom P/N: 0010-70001 Rev. L
5000 Platform Mini-Controller P/N: 0010-76036 Rev G
5000 Platform AC Channel P/N: 0010-09184 Rev. F
5000 Platform DC Power supply P/N: 0010-09181 Rev. J
(2) Modules mfg. Gold part precision 5000 No: 0010-09978 Rev. A
PCB Board P/N: 0100-09153 Rev. C Gas panel bd
PCB Board P/N: 0100-76181 Rev. A 5000 wiring distribution board
PCB Board P/N: 0100-09010 System electronics backplane
PCB Board P/N: 0100-09138 Rev. B Robot interconnect bd
PCB Board P/N: 0100-09146 Centerfinder sensor bd
PCB Board P/N: 0100-09106 Rev. F Expanded gas panel interface bd
PCB Board P/N: 0100-09107 Rev. E TEOS Gas panel interface bd
PCB Board P/N: 0100-35100 Rev. A
PCB Board P/N: 900168
PCB Board card P/N: 0100-09056 Rev. G Ceneterfinder sbc assy
PCB Board card P/N: 0100-20001 Rev. E System electronics interface bd
PCB Board card P/N: 0100-09299 Rev. C Serial sideboard assy
PCB Board card P/N: 0100-09054 Rev. H Analog input board
(2) PCB Board cards P/N: 0100-11001 Rev. D Analog output board
PCB Board card P/N: 0190-76050 Rev. B VGA video controller
PCB Board card P/N: 0100-09054 Rev. H Analog input board
(4) PCB Board cards P/N: 0100-00003 Rev. C Stepper drive
(6) PCB Board cards P/N: 0100-11002 Rev. F DI / DO
PCB Board card P/N: 0090-76110-A SEI
PCB Board card P/N: 0100-09055 Rev. H Liq. source sbc assy 0100-09024 Rev. F
(2) PCB Board cards P/N: 0100-09022 Rev. H Mini AI / AO bd
(2) PCB Board cards P/N: 0100-09136 Rev. D Mini DI / DO short circuit bd
PCB Board card P/N: 0090-09061 Rev. A Thermal electric driver
(2) PCB Board cards P/N: 0100-00008 Rev. K
PCB Board card P/N: 0100-09009 Rev. H Buffer I / O
PCB Board card P/N: 0100-09011 Rev. G Ai mux/current sense
(2) PCB Board cards P/N: 0100-00014 Rev. H Opto detect
(3) PCB Board cards P/N: LIS-3I-12 Lambda regulated power supply
(4) PCB Board cards P/N: AM5 Stepping motor drive
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II는 다양한 기판에서 필름을 증착하도록 설계된 고급 생산 원자로입니다. 이 시스템은 디스플레이, 광학 부품 (optical component), 의료 기기 (medical devices) 등 수많은 어플리케이션에 필름을 입금할 수 있도록 설계되었습니다. 원자로는 AMAT 차세대 TIM (True Impedance Matching) 기술로 구동되며, 기존의 방법보다 빠르고 균일 한 증착률을 제공합니다. True Impedance Matching 시스템은 부드럽고 제어 가능한 필름 증착을 위해 기판에 전원을 정확하게 공급합니다. AMAT P5000 Mark II는 유전체, 비정질 실리콘, 내화 금속 등 다양한 필름 시스템을 실행할 수 있습니다. 원자로는 또한 필요에 따라 다른 증착 시스템으로 쉽게 업그레이드 할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II의 큰 챔버 크기는 300mm x 300mm이며, 동시에 더 많은 수의 웨이퍼 및 기판을 처리 할 수 있습니다. 파이프 설계는 또한 챔버 (chamber) 대기의 무결성을 유지하면서 안정적인 처리 환경을 제공하는 데 도움이됩니다. P 5000 MARK II는 또한 압력, 온도, 전력, 압력, 흐름 등 다양한 프로세스 변수로 유연성과 정밀 제어를 제공합니다. 이를 통해 원자로는 다양한 기질 온도에서 입자 및 에너지 분포를 정확하게 제어 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II에는 지능형, 사용자 친화적 인터페이스도 있어 프로그래밍 및 운영이 간편합니다. 또한, 누출 감지 (leak detection) 및 과압 안전 배선 (over-pressure safety 배선) 과 같은 안전 기능이 내장되어 있으므로 시스템을 사용할 때 운영자는 안전하고 안전할 수 있습니다. AMAT P 5000 MARK II는 강력하고 정교한 생산 원자로이며, 고급 기능과 뛰어난 성능을 갖추고 있습니다. 유연성, 정밀 제어 및 직관적인 사용자 인터페이스와 결합된 차세대 True Impedance Matching (True Impedance Matching) 기술은 다양한 Deposition 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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