판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP #9200085

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP는 다양한 대형 기판에 박막 코팅을 만들도록 설계된 넓은 영역 Tungsten MPCVD 원자로입니다. 원자로는 생산 및 연구 설정에 모두 사용되도록 설계되었으며, 최대 750C (deposition temperation) 온도를 예방할 수 있습니다. 기판 직경은 2 인치에서 8 인치 사이이며, 웨이퍼 처킹 장비로 고정됩니다. 진공실 에는 선형 전동 "로봇 '과 가열 기판 의 정확 한 이동 을 위한 이중" 리프트 핀' "시스템 '을 갖추고 있다. 이 장치에는 프로세스 제어 및 모니터링을 지원하는 여러 기능이 있습니다. 이러한 기능 중 하나는 내장 모니터/제어 머신으로, 프로세스 챔버 조건에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 내장 6 채널 온도 모니터는 온도와 관련된 불규칙성을 파악하고, 사용자가 이에 따라 챔버 온도를 조정하도록 도와줍니다. 또한이 도구는 6 존 (Zone) 이중 쇼어 헤드 (Showerhead) 전달 자산을 사용하여 모델에 들어가는 프로세스 가스의 압력과 흐름을 제어하여 프로세스 균일성을 향상시킵니다. AMAT P5000 Mark II MxP 원자로에는 엄격한 안전 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 고압 상황을위한 자동 차단 메커니즘, 과열 방지 열 퓨즈, 휘발성 물질을위한 만료 제어 표시기 (Expiration Control Indicator) 가 포함됩니다. 또한, 원자로에는 전력 고장 (power failure) 이나 기타 오작동시 챔버를 격리하고 대피시키는 통합형 fail-safe 메커니즘이 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II MXP는 생산 및 연구 응용 프로그램 모두에 적합한 고급 증착 및 반응 플랫폼입니다. 내장형 기능과 안전 프로토콜 (Safety Protocol) 은 운영 단순화를 돕고 다양한 대형 기판에서 안정적이고 효율적인 박막 코팅 (Thin Film Coating) 제작 방법을 제공합니다.