판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP R2 #9124577
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ID: 9124577
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Metal etcher, 8"
Orienter
(29) Slot elevator
(2) MxP R2 metal etch
(1) ASP
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP R2 원자로는 반도체 특정, 차세대 배치 유형, 화학 증착 (CVD) 도구입니다. monolithic 및 passivated 기판 모두에 고급 대규모 생산 기능을 제공합니다. 고급 메모리 (Advanced Memory) 및 로직 칩 (Logic Chip) 생산에 필요한 높은 처리량과 낮은 결함 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장비는 업그레이드 된 고효율 디자인과 온도, 압력, 가스 흐름 속도, 펄스 타이밍 (pulse timing) 및 화학 반응물의 정확한 제어를 허용하는 여러 개의 독립적으로 조절 가능한 영역을 갖추고 있습니다. 온도 조절이 향상되어 증착률이 높아지고 공정 제어가 향상됩니다. "센서 '의 수 가 증가 함 에 따라," 시스템' 은 최대한의 균일성, 반복성 및 최고 의 수율 을 위한 공정 을 신속 히 측정 하고 조정 할 수 있다. AMAT P5000 Mark II MxP R2 원자로에 업그레이드 된 자동 로더 및 언로더 장치가 있습니다. 여기에는 자동 정렬 및 기판 처리가 가능한 개선 된 피쳐 인식 머신 (feature recognition machine) 이 포함됩니다. 이 도구는 표준 정전기 척 캐리어에 최대 30 개의 기판을 수용 할 수 있습니다. 정전기 척은 처리 중 웨이퍼의 균주를 줄이기 위해 설계되었습니다. 에셋은 워터 칠러, 에지 효과를 줄이기 위한 흔들림 모터, 기판 디워 모델, 가열 차폐 가스 전달, 광선 방전 청소기, 동기화된 컬러 LCD 모니터 등 다양한 옵션 기능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II MXP R2를 통해 장비 사용자는 실행 시간 향상, 처리량 향상, 소유 비용 절감, 운영성 향상, CVD 프로세스에 대한 자신감 향상 등의 혜택을 누릴 수 있습니다. 이 제품은 결함이 없는 고성능 기판을 생산하도록 설계된 안정성이 뛰어나고 견고한 도구입니다. P 5000 MARK II MXP R2는 DRAM, 플래시 메모리, 로직 칩 등 다양한 프로덕션 어플리케이션에 적합합니다.
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