판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II-J #9051380

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II-J 원자로는 유전체, 반도체 및 금속 필름의 증착을위한 견고하고 고성능 PECVD 장비입니다. 이 원자로는 RF (Radio Frequency) 전원이 장착되어 있어 필름 (Film) 을 성능을 저하시켜 재료 비용을 대폭 절감할 수 있습니다. 이 제품은 반도체 소자 제조용으로 설계되었으며, 연구실과 산업용 직물 (industrial fabs) 에 모두 적합합니다. AMAT P5000 Mark II-J는 단일 웨이퍼 디자인을 사용하여 각 웨이퍼에 대한 뛰어난 반복성을 갖춘 안정적이고 균일 한 필름 균일성을 제공합니다. 이 설계는 완벽한 균일성을 가능하게 하며, 다른 시스템보다 뛰어난 성능을 제공합니다. 듀얼 콜드 월 (cold wall) 을 갖춘 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 에 유전체 및 반도체 재료를 증착시킬 때 뛰어난 포장 밀도로 고품질의 저 스트레스 필름을 생성 할 수 있습니다. 또한 금속-유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 에 의해 금속 산화물을 증착 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000 Mark II-J에는 프로세스 제어를 보장하는 고급 어닐링 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치는 활성 온도 모니터링을 통해 온도를 균일하게 제어하고, 온도 정확도를 높일 수 있도록 임베디드 (embedded) 컨트롤러를 제공합니다. 또한 추가 모니터링 및 진단 기능을 위해 통합 원격 챔버 (Integrated Remote Chamber) 로 구성됩니다. 이 디자인은 또한 웨이퍼 전체에서 일관된 균일성으로 최대 20nm/min의 필름 증착률을 극대화 할 때 뛰어난 효율성을 제공합니다. P5000 Mark II-J는 견고한 공정 챔버와 손쉬운 유지 관리 기능을 갖춘 모듈식 디자인으로 설계되었습니다. 따라서 신속한 복구와 다운타임 최소화가 가능합니다. 이 기계에는 자동 스캐너, RF 소스, 초 민감한 광학 센서, 보조 가스 공급 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 고급 모니터링 및 진단 기능, 견고한 디자인 및 고성능 AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II-J의 조합으로, 반도체 장치, 유전체 필름 및 금속 산화물 증착과 같은 응용 분야에 사용하기에 강력하고 신뢰할 수있는 원자로입니다.