판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9313267

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I (일반적으로 AMAT P5000 Mark I) 는 화학 증기 증착 (CVD) 을 위해 설계된 대용량 처리량 도구입니다. APPLIED MATERIALS P5000 Mark I은 (는) 소형 및 대형 기판 크기를 모두 처리할 수 있으므로 프로세스 개발 및 연구 애플리케이션 모두에 이상적인 솔루션입니다. 기본 구성은 완전 자동화 된 CVD 반응물 전달 장비, 40 "기판 홀더, 프로세스 흐름을 제어하기위한 2 개의 가스 박스, 반응 챔버 및 공압 작동 수직 리프트로 구성됩니다. P5000 Mark I 는 고급 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 새로운 통합 데이터 수집 시스템 (Integrated Data Collection System) 과 문제 해결 및 프로세스 최적화를 위한 다양한 진단 툴을 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I에는 여러 가스를 제어 할 수있는 가스 전달 장치가 장착되어 있습니다. 프로세스 가스의 전달은 2 개의 가스 박스 (gas box) 를 통해 관리되며, 이는 반복 가능한 결과를 전달하기 위해 시퀀싱 될 수있다. 가스상자는 최대 16 개의 다른 가스를 수용 할 수 있으며, 이어서 질량 흐름 제어기 (mass flow controller) 를 사용하여 반응 챔버를 통해 흐른다. 반응 챔버는 직경이 20 "인 스테인리스 스틸 라인 원통형 챔버입니다. 최대 1000 ° C의 온도와 11 "웨이퍼 용량의 10 Torr의 압력이 가능합니다. 반응 챔버는 프로세스 가스의 균일성을 극대화하는 독특한 펄스-퍼징 머신 (pulse-purging machine) 에 의해 제거된다. AMAT P5000 Mark I은 또한 수직 리프트 (vertical lift) 를 특징으로하며, 이는 반응 챔버 위의 웨이퍼 레벨을 조정하여 프로세스 매개변수의 균일성과 안정성을 향상시킵니다. 공압 도구에 의해 구동되며, 반복 가능한 결과를 위해 자동화 될 수 있습니다. 또한, RF 에너지가 필요한 프로세스를 위해 RF 생성기 (옵션) 를 장착 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000 Mark I은 안정적이고 정확한 CVD 처리를 지원하는 고급 기술을 갖춘 정교한 도구입니다. 공정 개발 (process development) 및 연구 응용프로그램 (research application) 을 위한 효과적인 솔루션을 제공하여 고품질 박막 재료를 생산할 수 있습니다. 통합 데이터 수집 자산은 프로세스 제어를 강화하고, 진단 도구는 최적화 및 문제 해결을 지원합니다.