판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #9294421

ID: 9294421
CVD System, 12" Process: SiN, LowK, ALD 2015 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Olympia CMOS 원자로는 반도체 제작에서 리소그래피 성능을 극대화하기 위해 설계된 고도의 기술입니다. 이 장비는 30 개 이상의 포토 마스크로 작업 할 수 있으며 위상 이동 마스킹, 이중 노출 리소그래피, 근접 보정 등 다양한 고급 리소그래피 기능을 자랑합니다. 원자로는 픽셀을 정확하게 배치하고 노출을 최소화 할 수있는 독특한 이중 노출 (double-exposure) 기술을 사용합니다. 이 기능은 해상도나 정밀도에 영향을 미치지 않고 제조 효율성을 향상시킵니다. AMAT Olympia CMOS 원자로는 또한 오프 축 조명, 간섭 측정 및 초점 개선과 같은 다양한 해상도 향상 옵션을 제공합니다. 또한이 시스템은 폴리 이마이드, PE-CVD 포토 esist, 포토 esist 리플로우 등을 포함한 다양한 재료를 활용할 수 있습니다. 원자로는 또한 웨이퍼 처리량 (wafer throughput) 과 수율 (yield) 을 극대화하는 다양한 고급 기능을 제공합니다. 여기에는 고밀도 CCD (charge-coupled device) 센서와 폐쇄 루프 프로세스 제어 장치를 사용하는 것이 포함됩니다. CCD 센서를 사용하면 기계가 최적의 패턴 배치 (placement and exposure) 를 신속하게 감지하고 조정하여 가장 좋은 리소그래피 결과를 얻을 수 있습니다. 클로즈드 루프 프로세스 제어 도구 (closed-loop process control tool) 는 wafer position 및 process parameter에 대한 일정한 피드백을 제공하여 필요한 조정 작업을 자동으로 수행하여 기계를 최적의 효율로 실행할 수 있으므로 수동 조정의 필요성을 더욱 최소화합니다. 소프트웨어 측에서 APPLIED MATERIALS Olympia CMOS 원자로는 APPLIED MATERIALS Olympus 리소그래피 제품군의 최신 버전을 실행합니다. 이 소프트웨어 플랫폼은 패턴 투영, 왜곡 수정, 챔버 매핑, 에지 비드 제거 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한, 올림푸스 (Olympus) 제품군은 실제 웨이퍼 처리 전에 리소그래피 프로세스를 시뮬레이션 할 수 있으며, 운영자에게 예상 결과에 대한 자세한 견해를 제공합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS/Olympia CMOS 원자로는 광범위한 반도체 제작 응용 프로그램을 위해 설계된 놀랍도록 다재다능하고 효율적인 석판 기술입니다. 에셋은 다양한 고급 석판화 기능, 고밀도 CCD 센서, 닫힌 루프 프로세스 제어, 올림푸스 석판화 소프트웨어 (Olympus lithography software) 제품군을 자랑하여 탁월한 성능을 제공합니다.
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