판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #9293600

AMAT/APPLIED MATERIALS Olympia는 IC 제조 및 반도체 응용 모두에서 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 원자로입니다. ALD (Atomic Layer Deposition technology) 라는 AMAT 독점 코어 애플리케이션 엔진을 기반으로합니다. AMAT 올림피아 (Olympia) 원자로는 특허 회전 4 중 핀 노즐을 포함하는 수직 가스상 부피에 의해 연결된 2 개의 동심 원자로로 구성된다. 각 원자로는 가스 상 부피의 1/4을 차지하고, 쿼드 핀 노즐은 전체 기판 표면에서 균일 한 증착 속도와 균일 성을 제공하며, 효율적인 가스 상 분포를 제공합니다. 응용 물질 올림피아 원자로는 금속 산화물, 황, 질소, 염소, 붕소 및 기타 고 유전체 물질을 포함한 다양한 물질을 증착 할 수 있습니다. 균일 한 증착율 과 균일성 은 각 "응용프로그램 '에 대해 재생 가능 한 과정 을 유지 하도록 설계 되었다. 회전 4 중 핀 노즐을 사용하면 노즐 각도, 노즐 속도, 가스 상 농도, 스윕 속도 등의 조정 가능한 매개변수로 증착 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 증착에 대한 정확한 제어는 원자로의 자동 가스 압력 모니터링 (automated gas pressure monitoring) 에 의해 더욱 향상됩니다. 따라서 가장 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 올림피아 원자로는 또한 고급 자동 열 관리 기능을 갖추고 있습니다. 이 기능을 사용하면 기판 난방 과정을 정확하게 제어하여 예측 가능한 증착을 보장할 수 있습니다. 자동화된 열 관리 (Automated thermal management) 는 결함을 줄이고 증착 과정에서 열 손상을 입을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Olympia 원자로에는 고압 질소를 사용하여 우수한 성장 제어를 제공하는 통합 가스 벌크 전달 시스템이 장착되어 있습니다. 고압 질소는 일관된 증착 속도를 보장하며, 더 정밀한 결과가 필요한 응용에 필수적입니다. 원자로는 또한 자동 중심 (auto-centering) 기능을 제공하여 기판을 보다 쉽게 중앙에 배치하고, 오열로 인한 손상 가능성을 줄입니다. AMAT Olympia 원자로는 산업, 연구 및 기타 응용 분야에 사용되는 다재다능한 증착 시스템입니다. 안정성과 반복성은 반복 가능한 장기 증착 프로세스에 적합한 탁월한 선택입니다. 고급 열 처리는 정확한 온도 조절을 보장하여 예측 가능한 증착률과 균일성을 보장합니다. 첨단 가스-벌크 전달 시스템 (Advanced gas-bulk delivery system) 은 일관된 가스 상 농도를 보장하며, 다양한 재료에 대한 증착 과정을 잘 제어합니다.