판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #293665016

AMAT/APPLIED MATERIALS Olympia (AMAT Olympia) 는 박막 코팅 및 재료의 산업 증착을 위해 설계된 향상된 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. APPLIED MATERIALS 올림피아 (Olympia) 원자로는 단일 단계에서 물질을 표면에 증착 할 수있는 혁신적인 유도 결합 증착 공정을 특징으로합니다. 이 프로세스는 높은 수준의 품질과 반복 성을 달성 할 수 있습니다. 올림피아 (Olympia) 는 원통형 진공실을 특징으로하며, 고밀도 플라즈마 소스는 바닥에 있습니다. "플라즈마 '원 은" 플라즈마' 를 생성 시키고 반응물 이 확산 하고 반응 하기 위하여 "가스 '압력, 열, 전압 의 조합 을 사용 한다. 반응물은 가스 스트림 (gas stream) 에 의해 기질로 운반되며, 이어서 플라즈마 (plasma) 의 반응 종과 혼합된다. 챔버 디자인에는 복잡한 멀티 레이어 코팅을위한 3 면 창문과 사이드 월 (sidewall) 에칭 및 박막 빠른 재장착을위한 여러 측면 및 후면 인감 포트가 포함됩니다. 이 기능을 사용하면 챔버가 한 주기에서 에칭, 증착, 산화와 같은 여러 공정을 수행 할 수 있습니다. 챔버 바닥에는 유도 결합 증착을위한 전자기 코일이 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Olympia (AMAT/APPLIED MATERIALS) 원자로에는 통합 자동화 및 프로세스 제어 장비가 있으며, 이를 통해 운영자는 다양한 재료에 대한 프로세스 매개변수를 사용자 정의하고 설정할 수 있습니다. 이러한 매개 변수에는, 그러나, 압력, 온도, RF 전력, 가스 구성 및 프로세스 지속 시간이 포함됩니다. AMAT Olympia 원자로에는 강력한 분석 진단 및 모니터링 시스템도 장착되어 있습니다. 여기에는 가스 분석기 (gas analyzer), 질량 분석기 (mass spectrometer), 사분면 질량 필터 (quadrapole mass-filter) 및 다양한 프로세스 조건을 모니터링할 수있는 고급 압력 제어 및 진단 장치가 포함됩니다. 이를 통해 운영자는 생산량 및 처리량을 최적화하고, 제품의 신뢰성과 일관성 (Consistent Quality) 을 보장할 수 있습니다. 또한, 고급 컴퓨터 제어 소프트웨어 (Advanced Computer-Controlled Software) 는 분석 및 피드백을 위한 데이터 분석 및 기록 기능을 사용자에게 제공합니다. 따라서 사용자는 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 지속적으로 모니터링하고 최적화할 수 있으며, 프로세스 문제를 해결하고 개선할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Olympia는 매우 안정적이며 다운타임을 최소화하도록 설계되었습니다. 모듈식 설계와 확장 가능한 디지털 아키텍처 (Extensable Digital Architecture) 를 통해 유연성 및 신속한 운영 시작을 위한 직선 구성 변경 작업을 수행할 수 있습니다. 전체적으로, 올림피아 (Olympia) 는 박막 코팅 및 재료의 산업 증착을위한 고급, 신뢰성, 유연한 도구입니다. 미세 전자 장치 (microelectronic devices) 에서 구조 재료 (structural materials) 에 이르기까지 다양한 구성 요소를 안정적으로 제작하는 데 사용될 수 있으며, 높은 수준의 반복 성과 정확성이 있습니다. 또한 프로세스 제어 시스템 (process control machine) 과 진단 도구 (diagnostic tool) 는 품질 및 생산성 최적화에 이상적인 선택이 됩니다.