판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS MST #9227637

AMAT/APPLIED MATERIALS MST는 반도체 장치 제조를 위해 설계된 원자로입니다. CVD (chemical vapor deposition) 원자로의 발전된 형태이며, 금속, 산화물, 질화물 및 기타 금속 물질의 층을 실리콘, 탄화 실리콘, 갈륨 비소 및 다이아몬드의 기질로 퇴적시키는 데 사용됩니다. AMAT MST 원자로에서, 증착 될 물질은 반응 챔버 (반응 챔버를 깨끗하게 유지하는 역할) 에 인접한 챔버에서 공급된다. 소스 재료는 처음에 가열되고, 반응 챔버로 흘러 들어가서 유도 결합 무선 주파수 (RF) 소스에 의해 생성 된 플라즈마 (고효과 가스) 에 노출된다. "플라즈마 '는 소스 물질 분자 들 을 분해 한 다음, 얇고, 균일 하고, 등각 된" 필름' 속 의 기질 물질 표면 에 침착 시킨다. 기질 물질은 증착 과정을 돕기 위해 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 원에 의해 가열된다. APPLIED MATERIALS MST Reactor는 기존 CVD 시스템에 비해 프로세스 정밀도가 높아지고 열 예산이 낮아 장치 성능이 상당히 향상되었습니다. 각 증착 단계에서 CVD 전구체 및 처리 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으므로 재료 구성, 피쳐 크기, 레이어 두께, 증착 (deposited) 및 기존 재료 간의 인터페이스를 정확하게 제어할 수 있습니다. CVD 레이어의 반복성과 균일성 (unifority) 은 높은 수준의 공정 수익률과 안정적인 장치 성능을 제공합니다. 혈장은 압력 민감성 물질 특성과 무관하게 저압 작업 환경을 제공하는데, 이는 질화물, 산화물 (oxide) 과 같은 일부 물질에 이상적입니다. MST 원자로의 구성 요소는 신뢰할 수 있고 장기적인 작동을 위해 설계되었습니다. 반응 챔버 자체는 304 개의 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로, 벽과 방패는 알루미늄과 몰리브덴 합금으로 만들어집니다. RF 소스와 기질 온도를 조절하는 데 사용되는 히터 (heater) 와 모터 (motor) 는 견고하고 신뢰할 수 있으며, 헤르메틱 밀봉 된 용기는 반응기 내에서 분자 종의 가스 아웃을 방지하는 데 도움이됩니다. "리액션 챔버 '의 자동 작동 은 산업 환경 에서 무인 처리 를 가능 케 한다. 요약하면, AMAT/APPLIED MATERIALS MST 원자로는 등각 박막 층을 기판에 증착시키는 데 사용됩니다. 재료 컴포지션, 레이어 두께, 피쳐 크기, 균일성 등의 정확한 제어를 통해 안정적인 장치 성능과 높은 공정 효과를 얻을 수 있습니다. AMAT MST 시스템은 산화물, 질화물 등 특정 물질에 이상적인 저압 플라즈마 환경을 사용합니다. 강력한 컴포넌트 엔트리 (Componentry) 및 자동화 (Automated Operation) 기능을 통해 산업 환경에서 장기적인 대용량 사용에 적합합니다.