판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / MOORE 7700 Series #9265323

AMAT/APPLIED MATERIALS/MOORE 7700 Series Reactor는 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 공정 도구입니다. 다양한 크기의 웨이퍼를 처리하기 위해 설계된 Vertical Furnace 장비로, 탁월한 온도 균일성, 향상된 웨이퍼 처리량, 유연성을 갖추고 있습니다. AMAT 7700 시리즈는 플랫폼 높이를 조정할 수 있으므로 운영자가 프로세스 요구사항에 맞게 용광로를 조정할 수 있습니다. 온도 범위는 최대 1600 ° C이며, 온도 균일성이 우수하여 챔버 전체에서 정확하고 일관된 온도를 제공합니다. 또한, 이 시스템은 사용된 레시피에 관계없이, 전반적인 프로세스 일관성을 향상시키기 위해 높은 반복성을 제공합니다. 7850 기능 세트는 엔지니어링, 디자인 및 기능의 우수성으로 올해의 Fabtech Product of AMAT를 수상했습니다. 이 장치는 RTC (Rapid Thermal Cycling) 기술을 사용하여 웨이퍼의 처리 시간을 몇 시간에서 몇 분으로 줄여 처리량을 늘립니다. 또한, 기계는 연산자가 1 인치 ~ 12 인치 웨이퍼 크기의 호환 가능한 웨이퍼 크기를 사용하여 웨이퍼 크기를 조정할 수 있도록 유연합니다. 무어 7700 시리즈 (MOORE 7700 Series) 의 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며, 챔버의 벽과 천장은 작동 중에 온도가 유지되도록 혁신적인 세라믹 절연을 특징으로합니다. 이 좋은 챔버 단열재 (chamber insulation) 는 공구를 작동 중에 냉각시키는 동시에 불필요한 에너지 사용량을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 기계는 핫 (hot-gas) 과 쿨가스 (cool-gas) 원자로 기술을 결합하여 웨이퍼의 적절한 열 흐름을 가능하게합니다. 7850 시리즈는 모듈식 카세트-카세트 로딩 (Cassette-to-Cassette Loading) 기술을 추가로 지원하므로 Wafer 배치를 빠르고 쉽게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 공구 센서 (Tool sensor) 를 사용하면 까다로운 프로세스에서 일관되고 재현 가능한 성능을 제공하기 위해 설계 프로세스를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 간단히 말해, APPLIED MATERIALS 7700 Series Reactor는 고급 프로세스에 사용되는 고성능 도구입니다. 뛰어난 열 균일성, 반복성, 유연한 웨이퍼 (wafer) 크기, 빠른 열 사이클링을 제공하여 전반적인 생산 시간을 단축합니다. 모듈식 카세트-카세트 로딩 기술이며, 챔버 절연은 전반적인 효율성과 효과를 더욱 향상시킵니다.