판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS MESA G5 #9358633

AMAT / APPLIED MATERIALS MESA G5
ID: 9358633
빈티지: 2017
Etchers 2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS MESA G5 (AMAT/APPLIED MATERIALS MESA G5) 는 생산라인에 고급 재료 처리 기능을 추가하려는 고객에게 비용 효율적인 솔루션을 제공하는 원자로입니다. 플라즈마 증착 및 에칭 기능과 ALD (Annealing and Atomic Layer Deposition) 기술을 결합하여 고객에게 강력한 통합 장비를 제공합니다. AMAT MESA G5는 작은 기하학 회로를위한 전체 도구로 사용되도록 설계된 마이크로 필드 에치 앤 니얼 시스템입니다. 이 장치는 브리지 형 진공 챔버, 고급 플라즈마 증착 및 에칭 포켓, 전용 어닐링 챔버로 구성됩니다. 브리지 타입 진공 챔버 (bridge-type vacuum chamber) 는 원자 정밀도가 가까운 구조를 만들기 위해 에칭 프로세스를 수행하며, 어닐링 (Annealing) 프로세스를 통해 결정 물질이 정확한 구조로 형성 될 수 있습니다. APD-E (Advanced Plasma Deposition and Etching) 포켓은 다양한 증착 및 패턴 프로세스를 가능하게합니다. APPLIED MATERIALS MESA G5 (응용 재료 MESA G5) 에는 가변 전원이 있으며, 이는 다양한 전원 수준에서 작동할 수있는 유연성을 제공합니다. 모듈식 설계를 통해 사용자 지정 구성이 사용자의 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한 작은 설치 공간과 통합된 자동 유지 관리 루틴을 통해 운영 라인을 위한 효율적이고 공간 절약형 (space-saving) 솔루션이 됩니다. MESA G5 는 다양한 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있어 사용자와 주변 환경의 보호를 보장합니다. 진공 (vacuum) 의 무결성 유지, 프로세스 매개변수 조정을위한 닫힌 루프 제어 (closed-loop control) 및 오염 방지를 위해 대기 방지를 불활성화하기위한 연동 차폐가 있습니다. 또한 "가스 '조절 장치 가 있어서 현재 존재 하는" 가스' 의 흐름 을 감시 하고 조절 하고, "가스 '조절 장치 를 이용 하여" 챔버' 의 균일 한 난방 및 냉각 장치 를 사용 한다. 이러한 모든 기능 외에도 AMAT/APPLIED MATERIALS MESA G5는 수분 응축 및 관련 오염 및 부식을 방지하는 낮은 "드라이" 챔버 설계로 인해 효율성이 높습니다. 또한 이 툴은 가동 시간을 극대화하고 안정적인 장기 성능을 보장하기 위해 손쉽게 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 신뢰할 수 있는 성능, 고급 기능, 안전 기능을 갖춘 AMAT MESA G5 를 통해 고객은 운영 요구에 집중할 수 있는 안심할 수 있습니다.
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