판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Mainframe for Endura II #293666678
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AMAT Endura II Mainframe은 Endura Reactor 제품군의 토대 역할을하는 강력한 장비입니다. Endura II Mainframe은 화합물 반도체, MEMS 장치 및 기타 고성능 재료의 생산에 적합하며, 균일성, 반복성 및 정확성이 뛰어납니다. 메인프레임은 각 존 (Zone) 에서 온도, 압력 및 웨이퍼 전송을 독립적으로 제어하는 독특한 2 구역 장비를 갖추고 있으므로 우수한 프로세스 반복성을 위해 정확한 마이크로 환경 제어를 보장합니다. 또한 메인프레임 (Mainframe) 은 180 ° Wafer 인덱스 범위를 제공하여 한 Zone 에서 다른 Zone 으로 쉽게 운영 환경을 전송할 수 있습니다. 인덱싱 모듈은 전송 (transfer) 을 빠르고 정확하게 수행하고 각 zone 의 최대 활용도를 허용합니다. 또한 메인프레임 (Mainframe) 은 강력한 모니터링 시스템을 통해 모든 주요 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 를 실시간으로 모니터링할 수 있으므로 전체 프로세스 전반에 걸쳐 올바른 프로세스가 유지됩니다. 엔두라 II 메인프레임 (Endura II Mainframe) 은 운영 운영에서 운영 운영까지 뛰어난 성능과 일관된 품질을 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 로딩 및 전송 장치 (Wafer Loading and Transfer Unit) 는 다양한 재료의 처리량과 고수율 생산을 가능하게 하며, 이를 통해 사용자는 프로세스 수율을 극대화할 수 있습니다. '다운타임 최소화' 와 '안정성 극대화' 를 통해 사용자가 툴의 성능에 대한 자신감을 가질 수 있도록 설계되었습니다. 견고한 재료 처리 (Strust Material Handling) 기술은 로드 및 언로드하는 동안 각 웨이퍼가 안정적이고 정확하게 로드되고 처리되도록 하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 로딩 모듈은 웨이퍼를 가능한 한 간단하고 쉽게 로드, 전송, 청소하도록 설계되었습니다. 에셋에는 최적의 로드, 클리닝, 제품 처리를 위해 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 홀딩 플랫폼 (wafer-holding platform) 과 헤드가 포함됩니다. 웨이퍼 홀딩 (wafer-holding) 플랫폼은 다양한 웨이퍼 크기를 보유하도록 설계되어 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기에 대해 엄격한 프로세스 제어를 쉽게 유지할 수 있습니다. 엔두라 II 메인프레임 (Endura II Mainframe) 은 최고의 프로세스 제어와 뛰어난 반복성을 보장하기 위해 전체 프로세스 동안 각 웨이퍼에 대해 고급 Closed Loop Tracking 을 사용합니다. 닫힌 루프 추적 (Closed Loop Tracking) 모델은 웨이퍼의 위치를 인식하고 최적의 프로세스 제어에 맞게 매개변수를 조정합니다. 또한 웨이퍼 추적 플랫폼 (Wafer Tracking Platform) 에는 프로세스를 실시간으로 원격 모니터링 및 제어하는 확장 원격 (Extended Telemetry) 장비가 포함되어 있으며, 사용자는 시스템에서 요구하는 대로 각 프로세스의 조건을 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 엔두라 II 메인프레임 (Endura II Mainframe) 은 자체 고급 유닛으로, 뛰어난 정확성과 반복성이 필요한 사용자에게 이상적인 선택입니다. 엔두라 II 메인프레임 (Endura II Mainframe) 은 고급 기능, 강력한 시스템, 강력한 자재 처리 기술을 통해 안정적이고 반복 가능한 생산성을 제공하는 최고의 원자로 시스템 중 하나를 제공합니다.
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