판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA #9311195

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA (금속 에치 및 선택적 증착 원자층) 는 반도체 제조에 사용되는 플라즈마 기반 원자로의 한 유형입니다. 재료, 피쳐, 기판의 표면에 배치, 패턴, 에치 (etch) 및 패시베이트 금속 레이어를 배치하는 데 여러 가지 프로세스를 사용합니다. AMAT G5 MESA는 세 가지 광범위한 원칙을 사용하여 작동합니다. 첫 번째 원리는 다중 모드 작동의 원리로, 원자로 (photolithography, etching, deposition) 와 같은 다양한 웨이퍼 제작 프로세스에 사용할 수 있습니다. 두 번째 원리는 다중 금속화 화학 물질 (multiple metallization chemistries) 의 원리로, 원자로 (reactor) 는 제조 요구에 맞춘 고품질 금속 층을 만들 수 있습니다. 마지막으로, 세 번째 원칙은 재료 호환성 향상 (Enhanced material compatibility) 이며, 이를 통해 원자로 내에서 각기 다른 재료를 사용하여 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 전체 구조 측면에서, APPLIED MATERIALS G5 MESA 플라즈마 원자로는 각각 자체 공정 챔버, 진공 펌프, 가스 전달 시스템 및 가스 제어 시스템을 갖춘 3 개의 챔버로 설계되었습니다. 화학 전달 및 반응은 프로세스 챔버의 셔터리스 기술 (Shutterless Technology) 에 의해 조정되며, 이는 셔터 기반 에치 및 증착 제어를 사용합니다. 이렇게 하면 압력 (pressure) 이나 가스 흐름 (gas flow) 과 같은 다양한 프로세스 매개변수로 프로세스를 정확하게 조정할 수 있습니다. G5 MESA의 공정 챔버 (Process Chamber) 에는 원자로의 고급 플라즈마 소스 (Plasma Source) 도 있습니다. 이것은 AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA가 재료의 표면 특성을 손상시키지 않고 다른 유형의 금속 층을 효과적으로 배치 및 에치하는 것을 가능하게합니다. 또한 AMAT G5 MESA에는 내장형 디지털 평면 스캐너 (flatbed scanner) 가 있어 처리 중인 레이어를 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. Advanced Materials APPLIED MATERIALS G5 MESA 플라즈마 (Plasma) 원자로는 고품질 금속 레이어를 제조 할 수있는 다목적 도구입니다. 첨단 기술과 기능을 통해 견고하고, 정확하며, 고성능 (HPC) 구성요소를 만들고자 하는 제조업체에게는 탁월한 선택입니다. 저온 작동과 향상된 재료 호환성을 통해, G5 MESA는 많은 제조 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다.