판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Front-End Metallization for Endura II #293672286

AKT/Aktell Endura II Front-End Metallization Reactor는 IC (Integrated Circuit) 제조를위한 효율적이고 비용 효율적인 방법을 제공하는 최첨단 원자로입니다. 엔두라 II (Endura II) 는 높은 수율과 광범위한 프로세스 창을 제공하여 장치 제조업체가 최고의 생산 속도를 달성 할 수 있습니다. 모든 구성 요소는 주요 IC 프로세스 노드 및 제어 기술과의 호환성에 대한 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 프런트 엔드 금속 회로 (Front-End Metallization Reactor) 는 강력한 물리적 증기 증착 설계 원칙을 사용하여 알루미늄 및 텅스텐과 같은 매우 얇은 균일 한 재료 층을 제공합니다. 이 과정은 기판에서 유기 잔기 (organic residue) 를 제거하고 박막 (thin film) 의 증착을 준비하기 위해 사전 증착 (pre-deposition clean) 으로 시작합니다. 증착 동안, 초고 순도 금속 전구체는 캐리어 가스에서 빠르게 증발되고, 응축되어 기질에 박막 층 (thin film layer) 을 형성 할 수있다. 이 시스템은 고성능 진공 시스템 (HPM) 과 통합되어 경쟁력 있는 주기와 정확성을 제공합니다. 센서 피드백은 프로세스 성능을 향상시키고, 다른 시스템이 50nm 이하의 프로세스의 요구 사항을 유지하도록 돕습니다. 프로세스 제어는 프로세스 제어 및 수율을 향상시키기 위해 닫힌 루프 작업을 포함합니다. 온도, 압력 및 감도는 지속적으로 모니터링됩니다. 엔두라 II (Endura II) 는 광범위한 기판을 정확하고 빠르게 처리하도록 설계되었습니다. 한 번에 최대 6 개의 기판을 포함 할 수 있으며 직경이 12mm ~ 300mm 인 기판을 처리 할 수 있습니다. 최대 온도 (650 ° C) 와 최고 속도 (600 RPM) 를 사용하면 높은 정확도로 짧은 시간을 얻을 수 있습니다. 또한, Endura II는 광범위한 프로세스 가스를 지원하여 다양한 증착 레시피를 가능하게합니다. AMAT/Aktell Endura II Front-End Metallization Reactor는 IC 생산에 효율적인 솔루션이 필요한 제조업체에 적합한 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다. 다재다능한 디자인으로, 다양한 기판 및 가공 재료를 처리 할 수 있습니다. 고성능 처리 기능 (HPP) 과 프로세스 제어 (Process Control) 기능을 통해 제조업체는 최상의 결과를 달성하고 까다로운 장치 노드의 요구를 충족할 수 있습니다. 울트라 씬 (Ultra-Thin) 균일 한 레이어를 처리 할 수있는 능력 덕분에 Endura II는 집적 회로 생산을위한 강력한 도구입니다.