판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Frame for P5000 #9235981

화학 및 물리적 증기 증착을위한 프레임 인 AMAT P5000 원자로 (AMAT P5000 reactor) 는 정밀 제어 코팅 응용에 최적화된 다용도 장비입니다. 태양광 및 자동차 전자 금속 화, 두꺼운 필름 금속 화, 어닐링 및 확산, 에피 택시, 에칭 및 스퍼터링과 같은 응용 분야에 이상적인 정확한 온도 및 압력 제어 프로파일을 달성 할 수 있습니다. 프레임 자체는 스테인레스 스틸 프레임으로 지원되는 원형 석영 봉투로 구성됩니다. 이렇게 하면 내부 구멍에 상하 (Top) 와 하단 (Bottom) 를 모두 입력하여 효율적이고 공간 절약형 설계를 만들 수 있습니다. 또한, 진공 펌프 (vacuum pump) 와 가스 매니 폴드 (gas manifold) 는 봉투 외부에 위치하여 공동 내부에서 신뢰할 수 있고 통제 된 처리 조건을 보장합니다. 내부 공동에는 질화물 붕소 (boron nitride firebrick) 가 늘어서 있어 안정적이고 일관된 열 균일성이 있습니다. 이 강력한 열 절연 물질은 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 및 반응성 에칭 (reactive etching) 과 같은 플라즈마 연산에서 특히 중요합니다. 또한, 프레임은 최적의 안정성 플랫폼을 제공하여, 최대 작동 조건에서 공동의 밀봉 무결성 (sealing integrity) 을 유지합니다. 가스 입구 매니 폴드 (gas inlet manifold) 는 쉽게 접근 할 수 있도록 설계되었으며 유연한 호스로 챔버 베이스에 부착됩니다. 들어오는 "가스 '는 외부 혼합 블록에 미리 섞인 다음, 적절한 혼합물로 약실에 직접 공급된다. 조절 가능한 압력은 가스 제어 밸브 (gas-control valve) 와 패널에서 모니터링 할 수있는 압력 측정 게이지 (pressure-measuring gauge) 로 구성됩니다. APPLIED MATERIALS P5000 프레임의 온도 제어는 효과적이고 정확한 열 분배를 위해 핫 월 유형 필라멘트 히터를 사용합니다. 이 "히터 '는 내부 동굴 을 둘러싸고 있는 원형" 필라멘트' 로 이루어져 있으며, 원하는 온도 를 달성 하기 위하여 전류 조절기 를 통해 조절 된다. 챔버에는 실시간 온도 피드백을 제공 할 수있는 여러 개의 열 코플이 장착되어 있습니다. 탁월한 정확성과 AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 프레임은 까다로운 증착 어플리케이션 요구에 이상적인 선택입니다. 견고한 설계와 조정 가능한 설정을 통해 안전하고 일관성 있는 (Secure and Consistent) 작동을 보장하며, 안정적인 성능과 프로세스 반복성을 보장합니다.