판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Etch chamber for MxP #9222743
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AMAT/APPLIED MATERIALS MxP 용 에치 챔버 (Etch chamber for MxP) 는 광범위한 어플리케이션을 위해 패스너의 정확한 에칭을 가능하게하도록 설계된 전용 플라즈마 에칭 원자로입니다. 특화된 설계로 우수한 프로세스 결과를 위해 패스너 에칭 매개변수를 월등히 제어 할 수 있습니다. 이 원자로는 의료, 항공 우주 및 기타 산업의 패스너 에칭을위한 효율적인 솔루션입니다. AMAT Etch Chamber에는 9 인치가 있습니다. 13 인치. 최대 4 인치까지 4 개의 플레이트를 수용 할 수있는 챔버. 4 인치이며 더 큰 부품을 수용하기에 충분히 큽니다. 챔버 (chamber) 는 진공 봉인 압력을 최대 5 torr까지 생성 할 수 있으며, 공정 제어를 개선하면서 에칭 공정 (etching process) 과 처리량 (throughput) 을 높일 수 있습니다. 고유 한 RF 전력 공급 장비를 갖추고 있으며, 분산이 1% 미만인 지속적인 전력 수준과 반응 시간을 제공 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Etch Chamber는 패스너 에칭 외에도 박막 응용을위한 스퍼터 증착이 가능합니다. 이 원자로는 에칭 (etching) 과 증착 (deposition) 모두에 대해 쉽게 구성할 수 있으므로 프로세스 간에 빠르게 전환할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Etch Chamber는 에칭 및 증착 어플리케이션을 위해 안정적이고 견고하며 유연한 선택입니다. 더 나은 프로세스 제어 및 반복 성 (repeatability) 을 위해 챔버 내부의 깨끗한 환경을 유지하는 층류 (laminar flow) 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 또한 작업 온도를 챔버 전체에서 균일 한 수준으로 유지합니다. 이를 통해 동시에 처리 할 때에도 패스너의 균일 한 에칭이 보장됩니다. AMAT 에치 챔버 (AMAT Etch Chamber) 는 사용자 입력이 없는 매개변수 에칭 (etching parameters) 을 설정할 수 있는 직관적인 제어 머신에 의해 구동됩니다. 이 도구는 고급 실시간 모니터링을 제공하여 에칭 및 스퍼터링 증착 (sputtering deposition) 동안 정확한 온도 조절을 가능하게합니다. 또한 사용자는 나중에 데이터를 검토할 수 있도록 실시간 데이터 로깅 (real-time data logging) 기능을 제공합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Etch Chamber는 패스너 에칭 및 증착 응용 프로그램을위한 뛰어난 에칭 및 박막 증착 솔루션을 제공합니다. 견고하고 안정적인 디자인과 결합된 정확하고 균일한 프로세스 제어 (process control) 를 통해 의료, 항공 우주 및 기타 산업에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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