판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9401876

AMAT/APPLIED MATERIALS는 차세대 반도체 제조를위한 플랫폼입니다. 제조 공정에서 반도체 웨이퍼에 고급 재료를 증착시키는 도펀트 (dopant) 장비다. AMAT ENDURA는 이온 임플란터, 화학 증기 증착 (CVD), 물리 증기 증착 (PVD), 플라즈마 증강 CVD, 플라즈마 증착 화학 증착 (PECVD) 증착 증착, 화학적 증착 증착 (PECVD D omition), 금속 증착 증착 증착 증착 증착 (Pomition-증착) 정밀한 프로세스 제어, 탁월한 반복 능력, 생산성 향상을 위해 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 플랫폼은 고성능 및 고급 안전 (Safety) 기능으로 차별화된 단일 유닛에 여러 챔버 및 프로세스 소스를 결합합니다. 원자로 챔버를 자동으로 로드 및 언로드하기위한 로드 잠금 (load-lock) 과 이온, 전구체, 심지어 반복 가능한 스퍼터링 소스를 포함한 다양한 구성 요소를 수용하도록 설계된 공정 소스 트레이 (process source tray) 가 통합되어 있습니다. 이 기계는 로봇 웨이퍼 (robotic wafer) 처리를 지원하여 여러 웨이퍼를 동시에 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 플랫폼에는 수많은 고급 기능이 포함되어 있어 정확한 도핑 (doping), 뛰어난 프로세스 품질, 뛰어난 처리량을 제공합니다. 엔두라 (ENDURA) 의 프로세스 제어 시스템은 고급 진단 (advanced diagnostics) 을 사용하여 프로세스 챔버 (process chamber) 와 웨이퍼 (wafer) 에 대한 현장 모니터링과 뛰어난 수율과 더 높은 장치 밀도로 확장할 수 있는 포괄적인 프로세스 최적화 기능을 제공합니다. 이 플랫폼에는 대피 용 고효율 터보 펌프 (turbo-pump), 입자 오염을 방지하는 정전기 척 (electrostatic chuck), 원격 모니터링 및 제어를 위한 다중 인터페이스 (multiple interface for remote monitor and control) 등 다양한 안전 기능이 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 플랫폼은 제조 환경과 유사한 조건에서 광범위하게 테스트 및 검증되었습니다. 이를 통해 고객은 정밀 도핑과 뛰어난 신뢰성을 누릴 수 있습니다. 고급 안전 기능은 전체 프로세스에서 웨이퍼 (wafer) 보호를 극대화하는 반면, 효율적인 설계는 에너지 소비를 줄입니다. 이것은 AMAT ENDURA를 반도체 제조에 이상적인 플랫폼으로 만듭니다.