판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9399253
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 생산 제조 공정의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 고성능 단일 웨이퍼 반도체 에치 원자로입니다. 작은 설치 공간으로, AMAT ENDURA 는 소형 Fabs 에 적합하며, Etch 프로세스 요구 사항에 유연하고, 안정적이며, 효율적인 솔루션을 제공합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA (APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하는 기능을 제공하여 결함 비율이 낮은 고품질 최종 제품을 제공합니다. 또한, ENDURA의 빠른 프로세스 속도는 대용량 에치 작업에 적합합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 업계를 선도하는 독자적인 소프트웨어/하드웨어로 구동되며, 사용자는 기존 프로세스 지식을 활용하여 프로세스 레시피를 신속하게 개발하고 사용자 정의할 수 있습니다. 원자로는 공정 프로파일이 매우 최적화된 표준 플랫폼을 기반으로합니다. 이를 통해 운영 환경으로의 전환이 빠르고 간단해집니다. AMAT ENDURA는 프로세스 유연성과 확장성을 갖추고 있으며, 이를 통해 다양한 애플리케이션과 운영 볼륨에 사용할 수 있습니다. 원자로는 CMP (chemical-mechanical planarization), 포토 esist 마스킹 및 LER (line-edge roughness) 제거와 같은 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 또한, APPLIED MATERIALS ENDURA는 여러 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있으며, 각 웨이퍼를 동일한 프로세스 사양으로 정확하게 제어합니다. 일관되고 안정적인 작동을 위해 원자로에는 자동 웨이퍼 열 예산 모니터링을 갖춘 고급 CMS (Chamber Management System) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 원자로는 각 웨이퍼 (wafer) 의 열 예산을 정확하게 모니터링하고 그에 따라 전원을 조정하여 모든 웨이퍼 (wafer) 에 균일 한 에치 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로 ENDURA는 최대의 사용성과 생산성을 보장하도록 설계되었습니다. 원자로에는 통합 공구 팁 클리너 (tip cleaner) 가 제공되어 정기적 인 유지 관리 절차를 단순화합니다. 또한 소프트웨어 제어판 (Software Control Panel) 을 사용하면 전체 프로세스 주기를 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 다양한 에칭 어플리케이션에 뛰어난 성능과 확장성을 제공하는 강력한 에치 (etch) 원자로입니다. 생산 제조 (Product Manufacturing) 에 이상적인 고급 기능뿐만 아니라 주기 시간 단축, 수율 향상, 생산성 최적화 등의 이점을 제공합니다. 원자로의 직관적인 디자인과 사용자 친화적 인 인터페이스 (User-Friendly Interface) 는 모든 기술 수준의 운영자에게 높은 접근성을 제공합니다. 반복 가능한 고정밀 프로세스와 일관된 결과를 제공하는 AMAT ENDURA (AMAT ENDURA) 는 반도체 에치 어플리케이션에 완벽한 선택입니다.
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