판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312919

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 장비는 빠른 속도와 정확한 두께로 정밀한 레이어를 갖춘 초박막 (ultra-thin film) 을 생산하도록 설계된 고급 증착로입니다. Epitaxy, Deposition, Reactive Etch 및 Advanced의 약자 인 AMAT ENDURA는 APPLIED MATERIALS ENDURA TE, Cell 및 Chamber 시스템의 세 가지 구성 요소로 구성된 시스템입니다. ENDURA Chamber는 정밀도가 높은 고품질 웨이퍼 기판을 생산할 수있는 최첨단 초정밀 열/진공 처리 챔버입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA TE에는 통합 고급 가스 장치, 고 진공 펌프 모듈, 실시간 엔드 포인트 제어, RF 발전기 블록 및 RF 전원 공급 장치가 포함됩니다. AMAT ENDURA 셀 (AMAT ENDURA Cell) 은 웨이퍼 기판에 증착 물질 층을 배치하고 에치하는 데 사용되는 프로세스 및 증착 구성 요소 및 컨트롤러의 전체 범위로 구성됩니다. APPLIED MATERIALS ENDURA Cell에는 Low Mass Flow Ion 소스, 고출력 RF 소스, 양극, 음극 및 반응 가스 라인 및 펄스 LED, 펄스 레이저 및 고전압 바이어스 전극과 같은 고급 가스 분포 구성 요소가 포함됩니다. 고급 가스 도구 (advanced gas tool) 는 증착 과정을 모니터링하고 제어하는 데 도움이되고, RF 발전기 및 고전압 바이어스 전극은 기판의 전기 바이어스를 제어합니다. 전체 ENDURA 에셋은 고정밀도 (+/- 1A) 반복성과 높은 처리율로 전체 웨이퍼 표면에 대해 정밀도, 고정밀도 두께의 균일 한 증착층을 생성하도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Cell (AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Cell) 을 포함한 전체 모델은 사용자 친화적이고 자가 진단을 위해 설계되었으며, 사용자가 확장 작업 중에도 신뢰성 높은 성능을 제공하도록 합니다. 통합 가스 장비, RF 소스 및 가변 바이어스를 갖춘 AMAT ENDURA Cell (AMAT ENDURA Cell) 은 여러 필름을 병렬로 처리하여 처리량을 늘리고, 소유 비용을 절감할 수 있습니다. 응용 재료 엔두라 TE (ENDURA TE) 는 소비가 적은 전원 공급 장치와 작은 설치 공간으로 매우 효율적이도록 설계되어 소규모 실험실에 적합합니다. ENDURA 시스템은 고정밀도, 신뢰성 있는 증착 프로세스가 필요한 모든 업계에서 완벽한 선택입니다. 최첨단, 업계 최고의 열/진공 처리 기능, 가스 시스템 및 RF 소스를 갖추고 있어 뛰어난 반복성, 빠른 속도, 정확한 두께를 제공합니다. 가스시스템 (Gas System) 과 가변 바이어스 (Variable Bias) 는 증착 공정을 완벽하게 제어하는 반면, 소비가 적은 전원 공급 장치와 작은 공간은 크기 실험실에 이상적입니다. 안정적이고 충실도 높은 성능을 위해 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 장치를 능가하는 것은 없습니다.