판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312918

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 재료 제조에 일반적으로 사용되는 고도의 에치 및 증착 원자로입니다. 나노기술 (Nanotechnological) 성분을 극도로 정밀하게 생산하는 능력은 반도체 업계에서 강력하고 신뢰할 수 있는 도구다. AMAT ENDURA는 에치 및 증착 프로세스에 사용되는 단일 웨이퍼 원자로 챔버 시스템입니다. 약실 의 모양 은 "플라즈마 '와 광학" 플럭스' 에 균일 함 을 준다. 내부는 2 개의 반대 전극으로 구성되며, 각각 13.56 MHz RF 소스로 구동됩니다. 응용 재료 엔두라 (APPLIED MATERIALS ENDURA) 의 플라즈마 소스는 이온의 정확한 배치를 보장하기 위해 최적화되어 공정 제어를 강화합니다. 이것은 또한 전기 장을 최소화하고 드리프트를 줄이는 데 도움이됩니다. 원자로 설계는 우수한 에치 균일 성과 더 정확한 표면 특성을 초래합니다. 증착 프로세스는 특정 저항성, 필름 구성 및 도펀트 프로파일을 달성하기 위해 맞춤 될 수 있습니다. "엔두라 '는" 실버' 내 의 환경 을 일관성 있게 유지 하기 위하여 일련의 방패 와 방패 를 이용 하여 "플라즈마 '와 기질 을 분리 하여 잠재적 인 손상 을 줄인다. 이것은 또한 전기장과 드리프트를 최소화하는 데 도움이됩니다. 원자로 는 기판 을 더욱 보호 하기 위하여 "펌프 '를 자동화 하여" 펌프' 를 장착 하여 "펌프 '속 의 압력 을 조절 하고 안전 한 작동 수준 으로 유지 한다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA에는 멀티 포켓 pyrolytic 라이너 및 고순도 가스 라인을 포함하여 처리량을 향상시키는 많은 귀중한 기능이 있습니다. 또한 자동화를 통해 프로세스를 쉽게 관리할 수 있습니다. 예를 들어 배치 (Batch) 모드에서 작업을 수행하고 원하는 대로 웨이퍼 스택 (Wafer Stack) 을 관리할 수 있습니다. AMAT ENDURA (AMAT ENDURA) 는 많은 작업에 사용되는 검증되고 비용 효율적인 툴로, 상당한 프로세스 개선, 다용도 및 우수한 수율을 제공하도록 설계되었습니다. 신뢰성 있는 성능 덕분에 작은 기능, 생산량, 비용이 중요한 프로세스에 이상적인 솔루션이 됩니다.