판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312917

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 원자로입니다. 단일 결정, 박막 재료를 재배하여 차세대 칩 또는 집적 회로를 만드는 데 사용되는 고온, 금속 유기 화학 증발 (MOCVD) 장비입니다. 원자로 (Reactor) 는 단일 결정 성장 기판에 에피 택시 층 (epitaxial layer) 을 증착시키는 정확한 환경을 제공하여 매우 얇고 고성능 레이어를 생성합니다. AMAT ENDURA 원자로는 갈륨 비소 (GaAs), 인화 인듐 (InP) 및 합금과 같은 III/V 화합물 반도체의 성장을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 자동화된 포탑을 사용하여 가스 흐름, 스테이지 온도, 위치 기판 및 그릇을 모니터링하고 증착률을 결정합니다. 자동 턴테이블 장치 (turntable unit) 를 통해 다양한 재료를 제공 할 수 있으며, 증착 속도가 일관되고 III/V 화합물 반도체 층의 성장에 이상적입니다. 기판 단계에는 키 필름 매개변수를 정확하게 측정하기 위해 현장 내 도량형 (in-situ metrology) 도구가 장착 될 수도 있습니다. 응용 재료 엔두라 (APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 고급 열 관리 기능을 갖추고 있으며, 원자로 부품에 대한 열 스트레스를 최소화하면서 자동화가 빠르고 정확하게 최대 고온까지 램프합니다. 이러한 컨트롤을 사용하면 램프 속도가 빨라지고, 프로세스 기능이 향상되며, 프로세스 정확도가 향상됩니다. 또한, ENDURA 원자로에는 최적의 열 대류에 대한 프로세스 온도를 적극적으로 모니터링하는 지능형 온도 최적화 머신이 장착되어 있습니다. 이것은 정확한 온도 조절을 보장하고 성장 균일성과 수율을 향상시킵니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA (AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 빠르고 손쉽게 유지 보수할 수 있도록 설계되었으며, 운영자가 구성 요소에 쉽게 액세스하여 더 빠른 공구 업과 유지 보수가 가능합니다. 또한 유지 보수 시간이 짧고, 고급 부품 제작이 가능하므로 다운타임이 최소화되고, 시간이 지남에 따라 생산량이 향상됩니다. 전반적으로 AMAT ENDURA는 III/V 화합물 반도체 층의 성장을 위해 설계된 강력한 MOCVD 원자로입니다. 첨단 기능 및 정밀 제어 기능을 통해 단일 크리스탈 박막 (Thin-film) 재료를 만들어 고급 칩과 집적 회로를 만들 수 있는 정확한 환경을 제공합니다.