판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9296941

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 단일 장비에 증착 및 플라즈마 에칭 기능을 제공하도록 설계된 PVD (Physical Vapor Deposition) 원자로입니다. AMAT ENDURA는 고화질 환경에서 최고 품질의 필름과 최상의 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 챔버는 기판 홀더, 고주파 소스, 척, 로드 락 챔버 및 2 차 소스의 최대 5 개의 개별 구성 요소로 구성됩니다. 기판 홀더를 사용하면 시스템이 최대 300mm 크기의 여러 기판을 처리 할 수 있습니다. 고주파 원 (high-frequency source) 은 공정 가스에서 화합물을 분해하는 데 사용되는 고출력 플라즈마를 만드는 데 사용된다. "척 '은 그 공정 중 에 기판 을 보유 하는 역할 을 하며, 하중" 록챔버' 는 대기 에 노출 되지 않고 기판 을 적재, 하역 시켜서 오염 을 감소 시키도록 설계 되었다. 마지막으로, 2 차 소스는 게터 및 기타 화합물 함유 가스를 도입하는 데 사용됩니다. APPLIED MATERIALS ENDURA의 Multi-Zone Control ™ 기술은 동일한 챔버 내에서 여러 영역의 증착 및 에칭을 제공합니다. 이 기술을 통해 운영자는 프로세스 요구사항을 장치에 완벽하게 부합하고, 제품 성능을 극대화할 수 있습니다. 스퍼터 (Sputter) 및 플라즈마 (Plasma) 소스를 포함한 여러 필름 증착 소스를 단일 기판에 사용할 수 있으며, 이는 고판 저항과 고도체 층을 모두 가능하게한다. 그 에 더하여, 기계 는 금속, 유전체, 사진사 등 의 여러 가지 물질 들 을 에칭 할 수 있다. 또한 ENDURA 는 프로세스 반복성과 정확성을 보장하는 다양한 자동 (automated) 기능을 갖추고 있습니다. 프로세스 시간 (process time), 온도 (temperature) 및 압력 설정 (pressure setting) 과 같은 자동화된 매개변수를 프로그래밍 및 저장하여 연산자에 관계없이 결과가 일관되게 유지되도록 할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 일련의 안전 기능 (프레스 컨트롤러 (Pressure Controller) 및 로드 잠금 장치 (Load Lock) 포함) 이 있으며, 에셋을 작동시킬 때 위험량을 줄입니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 강력한 물리적 증기 증착 원자로로, 높은 처리량 환경에서 고성능, 안정적인 성능을 제공합니다. 멀티 존 컨트롤 (Multi-Zone Control) ™ 기술 및 자동화된 기능을 통해 운영자는 탁월한 프로세스 반복성으로 고품질 필름 및 에칭을 만들 수 있습니다.