판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9266616

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AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
판매
ID: 9266616
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Sputtering system, 8" 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 다양한 박막 재료를 재배하는 데 사용되는 고성능 CVD (Chemical Vapor Deposition) 플랫폼입니다. 폴리실리콘, 질화 실리콘, 비정질 실리콘, 유전체, 금속층 등 다양한 박막을 만들 수 있습니다. 하이엔드 자동화를 통해, 이 장비는 반복 가능한 결과와 향상된 생산 수익률을 보장할 수 있습니다. 이 시스템에는 생산 처리량 및 효율성을 향상시키는 ACELP (Advanced Epitaxial Lift-off Performance) Substrate Stacker 로더가 장착되어 있습니다. 이 장치를 사용하면 수동 개입 (manual intervention) 이 없어도 레시피를 빠르고 정확하게 변경할 수 있습니다. 프로세스 챔버 (Process Chamber) 는 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었으며, 프로세스 안정성, 균일성, 제어 기능의 탁월한 조합을 제공합니다. 이 기계는 고성능 마이크로컨트롤러 (MicroController) 를 통해 자동 학습과 같은 자동화 기능을 통해 효율성과 정확성을 향상시킵니다. 레시피 복잡성을 줄이고 주기 시간을 단축하도록 설계되었습니다. 또한 강력한 GUI (Graphic User Interface) 를 통해 사용자가 신속하게 프로세스를 설정하고 제어할 수 있습니다. 이 자산은 공정 자동화 (factory automation) 모델과 통합되어 프로세스 모니터링 및 제어를 강화할 수 있습니다. AMAT ENDURA Reactor는 다양한 기능을 갖춘 안정적이고 유연한 장비입니다. 연구용 미세 필름 증착뿐만 아니라, 대용량 및 중층 응용 프로그램의 대량 생산에 적합합니다. 자동화된 제어 및 견고한 프로세스 감시/보고 기능을 통해, 이 시스템은 안정적이고 균일한 결과를 제공합니다. 이 장치의 효율적이고 안정적인 설계는 광범위한 박막 증착 (Thin-film deposition) 및 초고화질 (Ultra-High) 응용에 이상적인 선택입니다.
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