판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9266216

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 반도체 산업에서 널리 사용되는 잘 확립 된 물리 증기 증착 (PVD) 도구입니다. 광범위한 프로세스 조건에서 고급, 고성능 증착을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT ENDURA Reactor는 원하는 재료를 퇴적시키기 위해 반응성 가스 및 전구체를 갖춘 단일 또는 이중 챔버 진공 시스템을 사용합니다. 자동 압력 제어 (Automatic Pressure Control), 고해상도 압력 제어 (High-resolution Pressure Control), 향상된 표면 거칠기를 위한 펄스 반응 흐름 (Pulsed Reactant Flow), 레이어 동역학 최적화를 위한 고급 반응 제어 (Advanced Reaction Control) 등 재질의 정확한 품질을 완벽하게 제어 할 수있는 여러 가지 고유 한 기능이 있습니다. 또한 전자 레인지, 전자 빔, 직류 (DC) 전원과 같은 여러 플라즈마 소스 기술을 통합하여 온도가 낮은 프로세스와 더 큰 제어를 가능하게합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 처리량이 높은 재료 성장을 가능하게하며, 넓은 지역에 걸쳐 균일하거나 맞춤형 레이어 별 성장을 제공합니다. 그것 은 거대 한 융통성 있는 작업 영역 을 갖추고 있으며, 수 "인치 '내지 수십" 인치' 크기 의 기판 을 가공 할 수 있다. 신뢰성을 보장하기 위해 ENDURA Reactor (ENDURA Reactor) 에는 프로세스 중단 시 활성 오염 제거 시스템 및 자동 차단 시퀀스가 포함됩니다. 편의를 위해 자동화된 "로봇 도어 '를 포함시켜 기판 을 쉽게 적재 및 언로드할 수 있다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 는 단순하고 일관된 프로세스 레시피 (Recipe) 기반 작업과 처리 시간 단축을 위한 병렬 다중 실행을 가능하게 합니다. 또한 모듈식 설계는 업그레이드를 촉진하여 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor가 기술 및 응용 프로그램이 변경됨에 따라 최신 상태로 유지됩니다. AMAT ENDURA Reactor (AMAT ENDURA Reactor) 는 물질의 성장 품질 및 처리량을 완벽하게 제어할 수 있는 고급 고성능 증착 기능을 제공합니다. 다용도 프로세스, 신뢰성 있는 운영, 손쉽게 업그레이드할 수 있는 모듈식 설계 (modular design) 를 통해 반도체 애플리케이션을 위한 최적의 선택이 가능합니다.