판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9265756
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ID: 9265756
System, 12", parts system
Missing parts:
(2) Dry pumps for load module
Dry pump for transfer module
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT ENDURA) 는 최첨단 3D 논리 장치를 가능하게하도록 설계된 고 처리량 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 플랫폼입니다. 시간당 최대 500 와퍼 스타트 (wafer start) 의 업계 최고의 처리량과 견고하고 안정적인 설계로 APPLIED MATERIALS ENDURA는 장치 제작을 위한 강력한 도구입니다. ENDURA는 혁신적인 이진 소스 구성을 특징으로하며, 이는 정확하고 정확한 VOC 증착을 위해 정확한 할라이드 비율 제어를 가능하게합니다. 이것은 반응물 농도 및 반응 시간을 정확하게 제어하여 최소 화학량 학적 드리프트 (stoichiometric drift) 및 우수한 제조성을 초래합니다. 또한, 가장 높은 순도 증기 전달 시스템이 사용되어 높은 반복성과 일관된 프로세스 성능을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA의 혁신적인 섀시 설계를 통해 온도, 압력, 반응물 조합과 같은 광범위한 처리 조건을 지원할 수있는 ALD (Atomic Layer Deposition) 가 가능합니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 zone 당 regloom time 을 가능하게 하며 가장 고급 처리 조건을 사용합니다. 또한, 이 시스템에는 신속한 endpoint 감지 및 프로세스 피드백을 위한 기능이 내장되어 있습니다. AMAT ENDURA (AMAT ENDURA) 의 인체 공학적 설계를 통해 챔버 구성 요소에 쉽게 액세스할 수 있으며, 실무 유지 보수 및 문제 해결을 제공합니다. 이 설계는 또한 고객의 표준 작업 공간 (workspace) 에 쉽게 부합할 수 있으며, 다양한 기존 로봇 및 리프트 시스템 (lift system) 과도 호환됩니다. APPLIED MATERIALS ENDURA (APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 최고의 프로세스 성능과 최고의 처리량을 필요로 하는 고객에게 안정적이고 비용 효율적인 고급 MOCVD 플랫폼을 제공합니다. 즉, 성능과 생산성을 완벽하게 조화시켜 효율성을 높이고 전반적인 비용을 절감할 수 있습니다. ENDURA는 고급 장치 제작을 위한 안정적이고 강력하며 비용 효율적인 도구입니다.
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