판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9251712

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 반도체 산업에서 사용되는 고급 제조 도구입니다. 고성능, 고품질 통합 칩을 생산하기위한 뛰어난 에치, 증착 및 임플란테이션 프로세스를 제공합니다. 이 장비에는 도구를 보호하고 재료를 처리하는 데 필요한 시간을 줄일 수 있는 부하 잠금 (Load Lock) (옵션) 이 포함되어 있습니다. AMAT ENDURA 원자로는 MagnaVac 플라즈마 전원 공급 장치 및 cryopump 모듈로 구동됩니다. 우수한 에치 레이트, 뛰어난 표면 지형 및 향상된 프로세스 균일성을 제공합니다. 이 시스템은 또한 프로세스 제어를 개선하기 위한 저전력 (low-power) 에칭 (etching) 과 고급 모니터링 및 분석을 위한 프로세스 제어 관리 장치 (process control management unit) 를 갖추고 있습니다. 이 도구에는 생산 및 샘플 전송의 유연성을 높이기 위해 다양한 샘플 홀더와 커스텀 카세트 (custom cassette) 가 있습니다. 이 기계는 프로세스 제어가 철저한 고출력 (high-throughput) 작업을 가능하게 하며, 칩 제조업체의 엄격한 품질, 생산 요구 사항의 증가에 부합합니다. 고급 자동화 제어 (Automation Control) 를 지원하며 단일 도구 내에서 병렬 실행에 최적화되어 있습니다. 원자로는 여러 현장 연구를 위해 설계되었으며 다양한 에치 (etch), 증착 (deposition) 및 임플란트 (implant) 공정을 수행 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 LEEPE (Low-Energy End-Point Etching) 를 지원하므로 에너지 소비가 적어 정확한 에칭 성능을 제공합니다. 고급 프로세스 제어를 제공하여 복잡한 구조에 대해 정확하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 또한 하이엔드 증착 및 임플란테이션 프로세스를 위한 특수 도구와 액세서리 (accessory) 를 통해 최적화된 고출력 에치 (etch) 프로세스를 지원합니다. ENDURA 원자로는 또한 생산성을 최적화하도록 설계되었습니다. 자산에는 일관성 있고 반복 가능한 제품과 프로세스 품질을 보장하는 고급 제어 (advanced control) 알고리즘이 포함되어 있습니다. 이 모델은 또한 각 샘플에 대해 미세 조정 매개 변수를 갖춘 고속, 고밀도 포지셔닝 시스템을 제공합니다. 요약하면, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 반도체의 칩 생산을 최적화하기 위해 설계된 고급 고성능 장비입니다. 여기에는 일관성 있고 반복 가능한 품질과 성능을 보장하는 고급 에치 (etch), 증착 (deposition) 및 임플랜테이션 프로세스가 포함됩니다. 이 시스템은 저전력 에칭 (eching) 과 고급 프로세스 제어 (process control) 를 비롯하여 최적화된 고출력 및 생산성 알고리즘을 제공합니다.