판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9240194
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 산업에서 박막 트랜지스터 (TFT) 응용 프로그램의 증착을 위해 설계된 고품질 닫힌 루프 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. AMAT ENDURA 원자로는 2 중 구역 증착 챔버 (dual-zone deposition chamber) 를 사용하여열환경을 단단히 제어 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor는 우수한 장치 성능을 유지하면서 넓은 활성 영역에 비해 뛰어난 필름 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. ENDURA 원자로는 단순화 된 기계적 구성 요소로 설계되어 증착 중에 최적의 기판 교환, 가스 전달 및 균일성을 제공합니다. 원자로에는 내부 가스 매니 폴드 (manifold) 와 밸브 (valve) 가 포함되어 있으며, 기판에 정확하고 정확한 가스 전달이 가능합니다. 이중 구역 챔버 (Dual-Zone Chamber) 는 웨이퍼 전체에서 별도로 제어 된 열 그라디언트를 허용하여 프로세스 제어 및 균일 한 필름 증착을 강화합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로에는 기판이 교환 될 때 열 충격을 줄이기 위해 고효율 자기 냉각 장비가 포함되어 있습니다. AMAT ENDURA 원자로는 영화 성능의 변형을 최소화하면서 일관된 증착을 제공합니다. 또한 뛰어난 정밀도로 높은 전도성 및 복잡한 재료 프로파일을 모두 배치하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로가 달성 한 탁월한 균일성은 초고속 논리, 액티브 매트릭스 LCD, 고속 논리 드라이버 등의 어플리케이션에 적합합니다. ENDURA 원자로는 매우 유능하고 다재다능한 CVD 시스템으로, 비정질 실리콘, 폴리 실리콘, SiGe 및 SnO2를 포함한 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. 이 장치에는 리모콘 박스 (remote control box) 가 있어 원자로 모니터링 및 작동이 쉽습니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 단단히 결합 된 가스 전달 머신으로 열 제어를 제공하여 필름 성능의 변형을 최소화하면서 높은 수율을 제공합니다. AMAT ENDURA 원자로는 안정적이고 사용하기 쉽고 비용 효과적입니다. 그 뛰어난 균일성, 정확성, 그리고 정확성은 반도체 업계의 광범위한 장치 응용에 이상적인 선택이라 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA (APPLIED MATERIALS ENDURA) 원자로는 안정적이고 비용 효율적인 증착 기능과 함께 최고의 성능을 제공하며, 고품질, 신뢰성 있는 증착 시스템을 찾는 반도체 업계에서 탁월한 선택입니다.
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