판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9235921
URL이 복사되었습니다!
ID: 9235921
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2006
PVD System, 8"
Product wafer
Wafer shape: SNNF
Controller & system AC
Single Bd computer in controller: V452
EMO Function: Turn to release
Emergency off label
EMO Button guard rings
Shunt trip option
Smoke detector
Facility water flow interlock
Robot & monolith:
Buffer robot: HP
Transfer robot: VHP
Transfer robot blade: Original metal
Buffer robot blade: Original metal
Monolith bakeout heater DBI intk
UHV Pump:
Cryo pump: ONBOARD 8F
System monitor:
Monitor 1: Stand alone
Monitor 1: Cable length, 50'
No monitor select switch
Loadlock and cassette:
Loadlock type: Narrow body
Type: Index / Handler
Loadlock vents: Variable speed soft vent
LL Open / Close switch
Generator rack:
2nd Generator rack installed
2nd Generator rack smoke detector
2nd Generator rack water leak detector
Cable length, 1st to 2nd generator rack, 6'
2nd Generator rack water flow intk
Support equipment:
Neslabs
Neslab water resistivity indicator: Resistivity meter
Neslab drain port valve
No BOC heat exchanger on system
Cryo compressors: Water cooled
(2) Cryo compressors
Cryo lines: 3/4" x 50'
Cryopump controller type: 3 Phase controller
Cryopump water fittings
Signal cable length:
Mainframe to system controller, 50'
Mainframe to generator rack, 50'
Mainframe to cryo compressor, 50'
Main AC to system controller / System AC, 50'
System controller / System AC to prim gen rack, 50'
Main AC to prim gen rack, 50'
Main AC to pump frame, 50'
Main AC to neslab heat exchanger, 50'
Miscellaneous:
Water fittings: SST
Ar / N2 Vent manifold
Air fittings, 3/8"
Swagelok water & air fittings
System roughing pumps
EBARA Pump IF smart
Communications interface: GEM / SECE II
Cooldown chamber rough pump options:
EBARA Pump IF smart
System electrical:
Top control AC power feed
Circuit breaker: 343.8 A
Line frequency: 60 Hz
Small main AC power inlet hole
Line voltage: 208 V
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 부품 제조에 사용되는 고정밀 원자로입니다. 탁월한 프로세스 균일성 (Exceptional Facility Throughput) 및 탁월한 설비 처리량을 제공하도록 설계되어 다양한 애플리케이션에 가장 뛰어난 품질의 구성 요소를 생산할 수 있습니다. AMAT ENDURA는 고품질, 균일 한 유전체 층, 폴리머 및 기타 박막을 생산할 수있는 3 챔버 PECVD (플라즈마 강화 화학 증기 증착) 장비입니다. 고도의 다재다능한 반응물을 사용함으로써, APPLIED MATERIALS ENDURA는 광범위한 공정 매개변수에서 우수한 증착 성능을 제공 할 수 있습니다. 이 시스템은 광범위한 원자로 (reactor) 를 설치, 유지 보수하여 다양한 제품군에 걸쳐 뛰어난 균일성을 지닌 정교한 반도체 (semiconductor) 장치를 생산할 수 있습니다. 또한 ENDURA는 디지털 에지 서버 장치 (digital edge server unit) 및 사용자 정의 기판 회전 기능과 같은 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 프로세스 매개변수를 보다 유연하게 관리할 수 있으며, 운영 속도 (Production Rate) 를 높이고 신뢰성을 높일 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA (AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA) 에는 머신을 쉽게 제어하고 구성할 수 있는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스도 포함되어 있습니다. AMAT ENDURA는 매우 정확한 온도 및 압력 프로파일을 유지할 수있는 고효율 원자로입니다. 이렇게 하면 재료 가 최적 수준 으로 유지 되어 "필름 '층 의 균일성 을 극대화 할 수 있다. 응용 재료 엔두라 (APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 또한 최적의 전기 접지 도구를 제공하여 부품에 대한 더 나은 전기 연결 및 우수한 제조 결과를 제공합니다. 재료 레이어의 월등한 균일성을 보장하기 위해 엔두라 (ENDURA) 용 소프트웨어는 기판 이동 및 기타 중요한 매개변수 (증착 과정) 를 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 또한 "에셋 '의 구성 은 특정 한" 프로세스' 를 우회 하여 생산 을 최적화 할 수 있게 해 주며, 직관적 인 "유저 인터페이스 '는" 모델' 을 빠르고 단순 하게 탐색 할 수 있게 해 준다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 강력하고 고급적이며 정확한 PECVD 장비입니다. 설비 처리량이 우수한 고품질 (A) 제품을 생산하여 반도체 제조에 이상적인 도구입니다. 이 시스템에는 전자광 장치 (Electro-Optical Device), 스위치 (Switch), 수신기 (Receiver) 및 기타 뛰어난 균일성과 정확성이 필요한 반도체 부품을 만드는 데 적합한 다양한 기능과 기능이 포함되어 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다