판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9227874

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로) 는 다양한 재료에 대해 높은 처리량과 엄격한 균일성 제어를 제공하는 고급 고성능 증착 장비로, 거의 모든 증착 용도에 이상적인 플랫폼입니다. 독점적 인 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 기술로 개발 된 AMAT ENDURA 플랫폼은 금속, 유전체, 도체 및 반도체를 포함한 다양한 기판을 증착 할 수 있습니다. 응용 재료 ENDURA의 디자인은 증착, 산업화 및 사용자 정의 프로세스를 가능하게합니다. ENDURA는 3 개의 독특한 공정 챔버를 갖추고 있으며, 3 개의 개별 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 여기에는 4 개의 MFP-3D 로봇과 2 개의 개별적으로 제어 가능한 세라믹-메탈 밀봉이 함께 제공되어 시스템 기능을 효율적으로 자동화할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA에는 높은 정밀도 온도, 압력, 흐름 제어, 다양한 기판 구성 및 RF 옵션과 같은 모든 프로세스 제어 기능이 있습니다. AMAT ENDURA의 순수한 에피 택시 증착 공정은 견고하고 내구성이 높으며, 매우 높은 단계의 범위로 복잡한 실리시드 구조를 증착 할 수 있습니다. 이 장치는 뛰어난 필름 균일성을 특징으로하며, 3 개의 공정 챔버 모두에서 최대 ± 0.5% 의 증착이 가능합니다. 이를 통해 APPLIED MATERIALS ENDURA는 매우 안정적이며 다양한 고성능 반도체 장치 구조의 성공적인 제작에 적합합니다. ENDURA의 다른 기능은 광범위한 프로세스 범위와 뛰어난 반복성입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA (AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA) 의 프로세스 범위는 업계에서 가장 넓으며, 단일 머신으로 광범위한 재료를 증착 및 특성화할 수 있습니다. 한편, 프로세스 반복성은 완벽하게 정확하며, 반복성은 ± 0.5% 입니다. 이를 통해 반복 가능한 증착 실행이 시간 동안 정확성과 일관성을 보장합니다. AMAT ENDURA 원자로의 독특한 특징은 사용자 정의 및 자동화 기회를 갖춘 산업 규모의 생산을 지원하는 능력입니다. 이것은 APPLIED MATERIALS ENDURA의 자동화된 기판 로딩 및 언로드 옵션과 함께 고급 웨이퍼 추적 기능으로 대용량 기판을 효과적으로 처리할 수있는 기능에서 볼 수 있습니다. 또한, ENDURA는 인라인 도량형 (in-line metrology) 과 같은 다른 시스템과 통합되어 도구의 추가 사용자 정의가 가능합니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 인상적인 기능과 정밀도를 제공하는 고급 고성능 증착 자산입니다. 광범위한 프로세스 범위, 자동화된 운영, 유연한 맞춤형 구성 기회를 갖춘 AMAT ENDURA (AMAT ENDURA) 는 고급 증착 솔루션으로 프로세스를 디지털화하고자 하는 모든 반도체 제작 설비 또는 연구 개발 연구소에 유용한 자산입니다.