판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9203908
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 제조 시설에서 사용하는 혁신적인 소형 전각 배치 플랫폼입니다. SEMI 호환 플랫폼은 다른 시스템에 비해 최대 50% 더 적은 설치 공간을 제공하면서 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT ENDURA (AMAT ENDURA) 원자로는보다 효율적인 프로세스를 수행할 수 있도록 독특한 경사 에지 (beveled-edge) 설계를 통해 장치 개수가 많고 주기 시간이 빨라집니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 다양한 최첨단 기술을 통합하여 뛰어난 처리 성능을 제공합니다. 경사 가장자리 디자인은 향상된 난방 균일성과 더 높은 처리율을 제공합니다. 이외에도 자동문시스템 (Automated Door System) 을 통해 운영자들이 안전하고 빠르게 챔버를 열거나 닫을 수 있다. 이렇게 하면 연산자에 필요한 처리된 재료가 챔버에 있어야 하며, 연산자 오류가 최소화됩니다. 또한, 원자로에는 내구성과 효율성을 보장하기 위해 고급 세라믹 재료가 장착되어 있습니다. 또한 강력한 기능을 통해 확장 종횡비 (extended aspect ratio) 와 빠르게 성장하는 기술 노드에 대한 종횡비 (aspect ratios) 를 포함한 공격적인 웨이퍼 형상이 가능합니다. 원자로는 또한 +/- 1.5 C의 온도 균일 성을 제공하여, 더 빠르고 정확한 공정 처리량을 가능하게한다. 또한 High-K Dielectrics와 같은 처리하기 어려운 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 독보적인 기능은 고급 디바이스 아키텍처 (Advanced Device Architecture) 와 신흥 기술 (Emerging Technologies) 의 요구에 부응하는 기능도 제공합니다. 또한, ENDURA 원자로에는 직관적 인 터치 스크린 컨트롤러가 포함되어 있으므로 복잡한 레시피를 쉽게 사용자 정의하고 프로그래밍 할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 메트릭을 실시간으로 모니터링하면서 공구 성능을 최적화할 수 있습니다. 연산자는 다른 매개변수의 실시간 그래픽 디스플레이를 볼 수도 있으므로 프로세스 제어 (process control) 및 항복 관리 (yield management) 를 개선할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 원자로는 오늘날의 지속적으로 발전하는 반도체 제작 기술의 요구를 충족시키기 위해 설계된 혁신적인 플랫폼입니다. 컴팩트한 디자인, 최첨단 기술, 직관적인 제어 시스템 등을 통해 생산량, 처리량, 디바이스 성능을 극대화하려는 반도체 제조업체에게는 이상적인 선택입니다.
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