판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9203800

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 제작 및 관련 처리를 위해 설계된 다재다능한 최첨단 단일 웨이퍼 또는 배치 원자로입니다. 에피 택시 성장, 증착, 에칭 및 산화 응용을 위해 설계된 다목적 도구입니다. 에치 (etch), 증착 (deposition) 및 산화 과정은 모두 하나의 통합 단위로 결합되어 여러 프로세스 도구가 필요하지 않습니다. AMAT ENDURA는 대규모 공정 부하에서 균일 한 에칭 및 증착률을위한 고성능 콜드 월 (cold wall) 설계와 유연하고 쉬운 설정을 제공합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA에는 잠재적인 안전 및 시스템 오작동을 방지하기 위해 고급 장애 모니터링 시스템 (Advanced Fault Monitoring System) 이 장착되어 있습니다. 넓은 면적의 코팅 샤워 헤드 (showerhead) 와 나선형 입구 튜브 (inlet tube) 를 갖춘 독특한 현대적인 디자인으로 전체 공작물에 균일 한 가스 혼합과 흐름을 분배합니다. 이것은 장치를 epitaxial 성장 및 low k 필름의 증착과 같은 프로세스에 적합하게 만듭니다. 유연성을 제공하기 위해 4 개의 챔버 설계를 통해 ENDURA는 다양한 프로세스 요구를 수용 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 RTP (Rapid Thermal Process), 원격 플라즈마 클리닝, 플레임 어닐링 및 빠른 열 어닐링과 같은 다양한 프로세스 기술 옵션을 제공합니다. 이 장치는 또한 아트 빠른 열 처리 (RTP) 및 고온 어닐링 (HTA) 상태를 지원합니다. 빠르고 정밀도가 높은 변형 선택적 어닐링 및 고속 퍼니스 어닐링 프로세스도 지원됩니다. AMAT ENDURA (AMAT ENDURA) 에는 지속적인 웨이퍼 처리를 가능하게하고 높은 속도와 낮은 압력에서 우수한 온도 균일성을 제공하는 내장 하향식 채널 챔버가 있습니다. 응용 재료 (APPLIED MATERIALS) 엔두라 (ENDURA) 에는 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수있는 다양한 자동화 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 자동 및 반자동 모드와 완전한 수동 제어가 포함됩니다. 사용자 친화적인 GUI 및 데이터 로깅 (data logging) 기능을 통해 설치 및 데이터 수집 시간을 단축하여 대용량 운영/하이테크 어플리케이션에 적합한 솔루션입니다. ENDURA는 프로세스 강화와 초청정 다이 성장에 이상적인 원자로입니다. 공정 일관성 (process consistency) 을 극대화하고 입자 오염이 적도록 설계되었으며, 고급 반도체 제작을 위한 훌륭한 도구입니다.