판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202897

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ID: 9202897
웨이퍼 크기: 12"
CVD Al parts chamber, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 장비는 "스마트" 코팅, 투명 금속 표면 및 기타 기능성 재료를 만들 수있는 혁신적인 CVD (chemical vapor deposition) 원자로입니다. 이 혁신적인 증착 시스템은 화학 증기 증착 응용에 사용하기 위해 특별히 설계되었으며, 다양한 산업, 연구 및 개발, 제약 및 생명 공학 응용을위한 우수한 전구체 수송 및 균일, 반복 가능한 필름 증착을 제공합니다. AMAT ENDURA 장치에는 화학적 증발을위한 신뢰할 수 있고 다재다능한 도구로 다양한 기능이 있습니다. 이 CVD 원자로는 강력한 자동 가스 제어 머신 (gas control machine) 으로 설계되어 반응물 및 반송파 가스에 대한 정확한 흐름 및 압력 제어를 제공합니다. 즉, 박막 증착의 변환 속도, 처리량, 균일성을 최적화하면서 일관성 있고 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 응용 재료 엔두라 (APPLIED MATERIALS ENDURA) 는 독특하게 설계된 가스 인젝터를 사용하여 반응물 농도 및 유속 모두를 세부적으로 제어하기 위해 반응물 및 반송파 가스의 최소화 (dilution) 를 초래합니다. ENDURA에는 프로세스 챔버의 온도를 정확하게 제어하기위한 다양한 옵션 (options) 도 포함되어 있습니다. 이러한 온도 조절 옵션을 사용하면 기판, 반응물 및 반송파 온도를 정확하게 제어하여 빠르고 박막 증착을 수행할 수 있습니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 저압 및 온도 드리프트로 설계되어 프로세스 안정성 및 결과의 균일성을 향상시킵니다. 이 온도 조절은 일관되고 균일한 레이어 두께를 가능하게하여 균질하고 신뢰할 수있는 필름 특성을 초래합니다. AMAT ENDURA 도구는 기판 처리량을 최대화하는 단일 챔버 설계를 가지며, 완전한 반응물 및 기판 격리를 가능하게합니다. 응용 재료 엔두라 (ENDURA) 원자로는 또한 작은 발자국을 특징으로하여 실험실 및 생산 라인 환경에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 또한, ENDURA는 완전 자동 제어 기능이있는 프로그래밍 가능한 프로세스 컨트롤러를 갖추고 있으며, 반복 가능하고 정확하게 제어 된 프로세스 결과를 제공합니다. 궁극적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 자산은 박막 제품을 생산하기위한 효율적이고, 안정적이며, 다용도 CVD 플랫폼을 제공합니다. 이 고급 원자로 모델은 연구, 개발, 산업 응용 모두를 위해 설계되었으며, 사용자 정의 맞춤형 제작 프로세스를 제공합니다. AMAT ENDURA 원자로는 다용도, 비용 효율적이므로 씬 필름 증착 프로세스가 정확한 애플리케이션 요구사항을 손쉽게 충족할 수 있습니다.
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