판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202812

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 뛰어난 생산 수익률, 최소 주기 시간 및 탁월한 비용 성능을 제공하도록 설계된 고급 에치/증착 플랫폼입니다. 기판 제조에서 고급 기능, 첨단 기술 응용 프로그램 (Hi-Tech Application) 을 가능하게 하는 광범위한 기능을 갖춘 포괄적인 통합 에치/증착 장비입니다. 이 단일 웨이퍼 증착/에치 원자로는 경쟁 에치/증착 도구보다 향상된 처리량, 더 큰 프로세스 유연성 및 더 높은 수율 균일성을 제공합니다. AMAT ENDURA 시스템은 2 탱크 기화실, 2 세그먼트 진공 실, ULV (Ultra-Low Pressure Source), 고급 웨이퍼 로딩 장치 및 공정 제어 소프트웨어 제품군으로 구성됩니다. 2 탱크 기화 챔버에는 맞춤형 소스 소스가 있으며 2 세그먼트 진공 챔버에는 고효율 프로세스 범위를 가진 강력한 RIE/플라즈마 에치 모듈이 포함되어 있습니다. ULV 압력 원은 최적의 ECR 플라즈마 소스 성능을 위해 초저압 (ultra-low pressure) 을 제공하여 에치/증착 기능을 강화합니다. 고급 웨이퍼 로드 머신 (wafer-loading machine) 은 웨이퍼를 보호하고 일관된 결과를 보장하기 위해 부드러운 로드/언로드 동작 및 안전 기능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 도구는 다양한 에치/증착 프로세스를 수행하도록 설계되었습니다. 고 종횡비 기능 에치/증착, 나노 기술 응용 프로그램, 드라이 에칭, 열 처리 등 다양한 프로세스 응용 프로그램을 지원합니다. 이 자산은 또한 통합 프로세스 제어를 용이하게 하며, 이를 통해 동시 프로세스 최적화, 높은 수익률, 더 높은 신뢰성을 얻을 수 있습니다. ENDURA 모델은 고급 반도체 장치의 높은 처리량 생산에 적합합니다. 자동 레시피 생성, 레시피 생성 및 매개변수 튜닝, 초저압 작동 범위, 플라즈마 생성기 (Plasma Generator) 및 원격 센서 통합 기능을 갖춘 통합 프로세스 제어 장비를 갖추고 있습니다. 또한 맞춤형 소스 소스와 고효율 프로세스 범위가 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 시스템은 프로세스 반복성, 높은 생산 수익률 및 향상된 프로세스 유연성에 중점을 두고 설계되었습니다. 통합 프로세스 제어 소프트웨어 제품군은 etch/deposition 매개변수를 완벽하게 제어하여 생산량 향상, 신속한 처리 시간, 안정적인 성능을 제공합니다. AMAT ENDURA 장치는 MEMS, 광전자 장치 및 RF 현장 장치 생산을 포함한 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 기계의 고급 (Advanced) 기능을 통해 고급 디바이스 생산에 대한 주기 시간 단축, 수율 향상, 비용 절감 등의 효과를 얻을 수 있습니다.