판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202554

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 반도체 제조를 위해 특별히 설계된 CMP (Advanced Chemical-Mechanical Planarization) 원자로입니다. 장치 구성 요소가 배치되기 전에 웨이퍼 서피스를 덮고, 매끄럽게 만들고, 닦는 데 중요한 도구입니다. 원자로 (Reactor) 는 다양한 기계적· 화학적 공정을 하나의 장비로 결합하는 집적 설계 방식을 활용한다. 두 개의 150mm 또는 200mm 플래터가 장착 된 이중 구역, 로터리 스타일 CMP 플랫폼으로 구성되어 있으며, 서로 반대 방향으로 회전합니다. 이 플랫폼에는 정밀 DC 제어 모터 드라이브, 프로그래밍 가능한 전원 컨트롤러 및 In-Situ Slurry Delivery 시스템이 장착되어 있습니다. 또한, 이 플랫폼은 강력한 데이터 수집 및 실시간 기능을 갖춘 정교한 제어 장치를 자랑합니다. 이렇게 하면 고급 스테퍼 제어 (stepper control) 및 보드 설정 (board setup) 을 제공하여 여러 레시피와 프로세스 매개변수를 신속하게 리콜할 수 있습니다. 이를 통해 플래터당 최대 4 개의 독립 플래터와 최대 20 개의 바이 패드를 통해 높은 생산성 수준을 구현할 수 있습니다. 연산자는 슬러리 유형 (slurry type), 패드 조건 (pad condition), 압력 설정 (pressure setting) 과 같은 조정 가능한 매개변수를 사용하여 최대 16개의 CMP 단계를 설정할 수 있습니다. AMAT ENDURA 원자로의 기계적 특징에는 고급 모션 컨트롤 및 댐핑 기능, 고무 개스킷 (gasket) 및 소프트 클리닝 패드 머신 (soft cleaning pad machine) 이 포함되어 있어 웨이퍼 접촉력이 정확하게 제어되어 균일하고 반복 가능한 재료 제거 속도를 제공합니다. 응용 재료 엔두라 (ENDURA) 원자로는 또한 다양한 공정에 많은 슬러리 및 화학 물질과 함께 사용할 수 있도록 높은 수준의 화학 호환성을 제공합니다. 이 도구의 화학적 부분에는 원치 않는 입자를 근절하는 데 도움이 되는 인라인 필터 (inline filter) 와 실시간 프로세스 조정 (in-line process monitor asset) 이 포함되어 있습니다. 슬러리 (slurry) 배송 모델은 중력 공급 (gravity-fed) 이며 프로그래밍 가능한 전원 컨트롤러와 조절 가능한 속도 드라이브의 조합에 의해 조절됩니다. 따라서 슬러리 (slurry) 흐름 속도와 자동화된 실시간 프로세스 모니터링 및 제어를 완벽하게 제어할 수 있습니다. ENDURA는 유연하고 신뢰할 수 있는 CMP 원자로로, 가장 정확성, 효율성, 반복성을 갖춘 여러 CMP 단계를 완벽하게 수행할 수 있습니다. 이 도구는 반도체 고급 개발 (Advanced Development) 에 대한 일관된 작업으로 IC 제조업체가 더 높은 수율과 더 작은 장치를 생산할 수 있습니다. 강력한 제어 기능 (control features) 과 동작 기능 (motion features) 은 높은 수준의 정밀도 및 반복성을 제공하며, 화학적 호환성을 통해 다양한 어플리케이션에서 장비를 사용할 수 있습니다.