판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202551

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA는 기판의 안정적이고 고성능 처리를 위해 설계된 다기능 장비입니다. 유전체 증착, 금속 리프트 오프, 금속 화, 유전체 격리와 같은 고급 포장, 상호 연결 및 3D 통합 프로세스에 반도체 산업에서 사용됩니다. AMAT ENDURA 플랫폼은 전통적인 원자로의 열 효과를 제거하여 결함을 줄이면서 탁월한 균일성과 반복성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA는 여러 프로세스 모듈이 장착 된 완전 자동화 생산 장비입니다. 이 플랫폼에는 웨이퍼 플래튼 및 여러 열 구역이 포함 된 첨단 챔버가 있습니다. 플래튼은 서셉터, 웨이퍼 홀딩 링 및 웨이퍼 리프트 핀으로 구성됩니다. 이 플랫폼은 또한 고효율 가스 전달 시스템, 조절 가능한 노즐, 자동 재료 처리기, 진공 펌프 및 RF 발전기와 통합됩니다. 또한, ENDURA 장치는 고급 프로세스 제어를 사용하여 프로세스 전반에 걸쳐 뛰어난 균일성과 반복성을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 플랫폼은 CVD, ALD 및 PECVD 프로세싱의 과제를 충족하도록 설계되었습니다. 이 머신은 뛰어난 신뢰성 및 장비 가동 시간과 함께 높은 처리량을 제공합니다. 이 플랫폼은 고급 상호 연결 및 메모리 응용 프로그램을위한 멀티 스택 유전체 증착에 이상적입니다. 또한이 도구는 담요 증착 및 리프트 오프와 같은 다양한 금속 증착 프로세스를 지원할 수 있습니다. 이 플랫폼은 효율적이고, 통제된 프로세스 냉각 및 레이어 전송 재료를 제공하여 결함, 열 안정성, 필름 단계 적용 범위를 개선합니다. AMAT ENDURA 원자로는 자동화 프로세스를 사용하여 비용을 줄이고 수율을 최대화합니다. 이 자산은 25mm에서 450mm 사이의 기판 크기를 지원합니다. 멀티 챔버 (multi-chamber) 설계는 수동 재료 처리가 필요하지 않으며 열 로딩이 최소화되면서 반복 가능한 프로세스를 가능하게합니다. 또한 APPLIED MATERIALS ENDURA 플랫폼은 조정 가능한 RF 전원 및 주파수 설정을 제공하여 사용자가 최적의 결과를 위해 프로세스를 구체화 할 수 있습니다. ENDURA는 고급 패키징, 상호 연결, 3D 통합 애플리케이션을 위한 견고하고, 안정적이며, 다기능 솔루션입니다. 효율적인 자동화 프로세스는 최고의 처리량 및 반복성 (repeatability) 을 향상시키며, 탁월한 균일성과 기판의 표면 품질을 보장합니다. 조정 가능한 RF 전원 설정, 웨이퍼 플래튼, 조정 가능한 노즐을 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 모델은 다양한 증착 프로세스에서 최적 및 일관된 성능을 달성하기위한 강력한 도구입니다.